在無線通信技術(shù)方面，BAW作為濾波器發(fā)揮著重要的作用。對于5G和下一代通信系統(tǒng)，BAW濾波器的需求進(jìn)一步增長，2023年市場規(guī)模已過100億美元。同時，隨著物聯(lián)網(wǎng)、智能家居等應(yīng)用的興起，也對BAW濾波器提出需求。

目前，隨著5G新頻段的提出，以及基站小型化趨勢，體聲波濾波器向著寬帶化，高頻化方向發(fā)展。

針對通信頻段的未來發(fā)展趨勢，杭州樹芯電子科技有限公司 聯(lián)合 杭州美迪凱光電科技股份有限公司 共同開發(fā)出9.6％摻鈧、20％摻鈧、30％摻鈧氮化鋁FBAR全流程工藝。該FBAR工藝流程基于自主研發(fā)的工藝體系，基于三種不同壓電薄膜的工藝路線于近期正式通線。

濾波器OM圖

產(chǎn)品FIB切片圖

目前已通線9.6％摻鈧、20％摻鈧、30％摻鈧氮化鋁產(chǎn)品可以分別達(dá)到10％、15％、20％的Kt2，并且實(shí)現(xiàn)2GHz-4GHz內(nèi)不同頻率范圍，屬于業(yè)界領(lǐng)先水準(zhǔn)。

??? ? ?9.6％摻鈧氮化鋁諧振器阻抗曲線@2GHz

20％摻鈧氮化鋁諧振器阻抗曲線@4GHz

30％摻鈧氮化鋁諧振器阻抗曲線@3.6GHz

目前已實(shí)現(xiàn)的20％機(jī)電耦合系數(shù)不是工藝的極限，我們將向著更大的機(jī)電耦合系數(shù)及更高的頻段邁進(jìn)。

樹芯FBAR諧振器

機(jī)電耦合系數(shù)技術(shù)路線圖

原文始發(fā)于微信公眾號（樹芯科技）：杭州樹芯電子科技有限公司 摻鈧、摻鈧氮化鋁全流程工藝正式通線

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