近日，上海萬業企業股份有限公司發布公告稱，其控股子公司長三角一體化示范區（浙江嘉善） 嘉芯半導體設備科技有限公司與嘉善縣西塘鎮人民政府簽訂了項目投資協議書，項目總稱為”長三角一體化示范區（浙江嘉善）嘉芯半導體設備科技有限公司年產 2,450 臺/套新設備和 50 臺/套半導體翻新裝備項目”。該項目投資總額合計 20 億元人民幣，包括固定資產費用、土地出讓金、建筑工程費、設備購置費、關鍵技術研發、鋪底流動資金及知識產權。項目預計2023 年 6 月底前，完成廠房建設并進入投資設備采購安裝及調試階段，在 2023 年 12 月底投產，在 2025 年度達產。嘉芯半導體未來主要從事刻蝕機、快速熱處理、薄膜沉積、單片清洗機、槽式清洗機、尾氣處理、機械手臂等 8 寸和 12 寸半導體新設備開發生產及設備翻新。上海萬業企業股份有限公司，成立于1991年10月，是一家具有新興產業基因的高科技上市公司。2018年，萬業企業成功收購上海凱世通半導體股份有限公司，正式進入集成電路四大核心裝備之一的離子注入機領域。2020年，萬業企業領頭境內外投資人收購全球領先的半導體氣體輸送系統領域精密零組件及流量控制解決方案供應商Compart Systems Pte. Ltd并成為其第一大股東。2021年5月，凱世通自主研發的低能大束流離子注入機在國內一家12英寸主流集成電路芯片制造廠已完成設備驗證工作并確認銷售收入。原文始發于微信公眾號（艾邦半導體網）：總投資20億元！嘉芯半導體擬建設年產2450臺/套新設備和50臺/套半導體翻新裝備項目
