晶圓載具是用來在加工制程中以及工廠之間晶圓的存儲、傳送、運輸以及防護。晶圓載具種類很多，且各有應用，如前開式晶圓傳送盒FOUP可用于制造工廠內半導體制程中，前開式晶圓運輸盒FOSB可用于制造工廠之間的運輸，晶片花籃可用于晶片的清洗等。（https://www.ab-sm.com）
圖源：LAM RESEARCH
晶圓載具需要具有高潔凈度、良好的耐磨性、抗靜電、尺寸穩定性、可回收再利用等特點。材質有金屬、PFA、PTFE、PP、PEEK、PES、PC、PBT、PEI、COP等。
隨著半導體技術不斷發展，對晶圓載具的要求也更高，如更高的潔凈度、滿足自動化需求，需要經過嚴格的認證等等，晶圓載具行業準入門檻較高。全球市場集中度高，美、日、韓以及中國臺灣的幾家企業占據全球晶圓載具市場占據主要市場份額，如 Entegris 、Shinetsu Polymer、DAINICHI SHOJI K.K.、Miraial、３S KOREA、家登、億尚、中勤等。國內晶圓載具企業多以生產晶圓包裝盒、晶舟等產品為主，技術難度較大的 FOUP、FOSB 少有生產，且市場占有率較低。
表 ? 主要晶圓載具企業
國家及地區 | 生產企業 | 產品 |
美國 | 應特格Entegris | FOUP、FOSB、晶圓包裝盒、晶舟、提把等 |
Gel-Pak | 晶圓包裝盒、真空釋放盒 |
日本 | 信越聚合物Shinetsu Polymer | FOUP、FOSB、晶圓運輸盒 |
大日商事株式會社DAINICHI SHOJI K.K. | FOUP、FOSB、晶圓儲存盒、晶舟盒、晶舟把 |
Miraial | FOUP、FOSB、單晶圓盒、晶圓運輸盒、晶舟、晶舟把等 |
Fuji Bakelite | 晶圓運輸盒 |
阿基利斯株式會社 | 晶圓包裝盒 |
韓國 | ３S?KOREA | FOSB、FOUP、晶圓包裝盒、晶圓運輸盒 |
SEYANG | 晶圓傳送盒、晶圓運輸盒 |
SANG-A FRONTEC | FOUP、晶圓儲存盒、晶舟 |
中國臺灣 | 家登精密 | FOUP、FOSB、晶圓傳送盒、晶圓盒、晶舟 |
億尚科技 | FOUP、FOSB、晶圓傳送盒 |
中勤實業 | FOUP、FOSB、晶圓盒、晶舟 |
中國大陸 | 義柏深圳ePAK | 晶圓運輸盒、晶圓框架、晶舟、單片晶圓盒 |
興宇宏 | FOUP、多片水平放置晶圓盒、晶舟傳送盒、八角盒、晶圓出貨盒、晶舟 |
榮耀電子 | 多片水平放置晶圓盒、多片立式放置晶圓盒、單片包裝盒、晶舟 |
近年來，半導體市場蓬勃發展，尤其是國內半導體行業發展迅速，國內晶圓廠如中芯國際、長江存儲、華虹、士蘭微、合肥長鑫等紛紛擴產或新建，中國迎來晶圓建廠高峰期，晶圓載具市場需求必將隨之攀升。面對如此機遇，國內晶圓載具企業如何能打破市場格局，實現國產替代，歡迎大家加入交流群，一起探討交流。
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下面我們就來了解一下這些晶圓載具企業，以下序號不代表排名。
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1、Entegris?
Entegris成立于1966年，總部位于美國馬薩諸塞州，是為半導體和其他高科技行業提供先進材料和工藝解決方案的領導企業。Entegris為整個半導體制造及供應鏈生態系統，提供最廣泛解決方案組合，包括前開式晶圓傳送盒FOUP、前開式晶圓運輸盒FOSB、晶圓盒、晶舟、把手等晶圓載具及配件，光罩盒，氣體過濾器，化學品輸送泵閥、管道、接頭、存儲容器，CMP拋光墊/拋光液等。官網：https://www.entegris.com/2、Gel-Pak
美國 Gel-Pak 公司成立于1980年，致力于創新包裝產品的生產，產品有芯片包裝膠盒、凝膠托盤、凝膠玻片、晶圓包裝盒，真空釋放盒等。該公司專有的彈性體技術是其 Gel-Box、Gel-Tray、Film 和專利的真空釋放 (Vacuum Release) 產品的基礎。官網：https://www.gelpak.com/3、信越聚合物 Shinetsu Polymer
信越聚合物成立于1960年9月15日，是信越化學旗下子公司，提供半導體制程相關商品，如晶圓載具、載帶、膠帶、晶圓框架等，居于業內領先地位。晶圓載具產品有FOUP、FOSB和晶圓運輸盒。官網：https://www.shinpoly.co.jp/4、大日商事株式會社 DAINICHI SHOJI K.K.
大日商事株式會社成立于1959年12月2日，生產用于半導體工藝的塑料制品，包括前開式晶圓傳送盒FOUP、晶圓儲存盒、晶舟盒、晶舟把、光罩盒、晶片托盤用夾子、ID 標簽/按扣等。官網：https://www.dainichi-shoji.co.jp/5、Miraial
Miraial成立于1968年7月，基于其多年開發的高功能塑料精密成型和加工技術，主要為半導體行業開發產品，包括用于晶圓加工、運輸的載具及配件：前開式晶圓運輸盒FOSB、前開式晶圓傳送盒FOUP、單晶圓盒、晶舟、晶舟把等。此外，還有半導體化學流體系統用管路接頭等產品。官網：https://www.miraial.co.jp6、Fuji Bakelite
Fuji Bakelite成立于1945 年，其半導體容器品牌為Paragon，半導體晶圓載具由高純度材料制成，以減少因脫氣或含金屬造成的晶圓污染。
?官網：https://www.fujibake.com/7、阿基里斯株式會社
阿基里斯株式會社成立于1947年5月，開發和提供在半導體、硬盤、液晶等所有電子零部件生產過程中不可缺少的靜電對策產品、包裝資材以及運用獨家導電加工技術的各種導電性塑料產品。2008年，為向半導體市場擴大生產，在臺灣設立阿基里斯先進科技股份有限公司。半導體相關產品有：晶圓運輸盒、晶圓運輸盒內緩沖海綿墊、晶圓運輸盒內晶圓隔離紙等。官網：https://www.achilles-at.com.tw/8、３S KOREA
3S KOREA 成立于1989年9月，半導體相關產品由安城工廠生產，包括前開式晶圓運輸盒FOSB、前開式晶圓傳送盒FOUP、晶圓包裝盒、晶圓運輸盒等。- 2012~2013年，安城建成第二家FOSB工廠。?
9、SEYANG
SEYANG成立于2000年1月，半導體相關產品有晶圓傳送盒、晶圓運輸盒、晶圓平坦區對準器、晶圓傳送設備、光罩盒以及相關設備等。官網：http://www.seyangin.co.kr/10、SANG-A FRONTEC
SANG-A FRONTEC 是以超高科技工程塑料為基礎，并有著相關產品生產需要的多樣的獨創加工技術。半導體相關產品有：晶圓傳送盒、前開式晶圓傳送盒FOUP、晶圓載具、晶圓儲存盒、流動體/氣體的移送管、脫模膜等。官網：http://www.sftc.co.kr/11、家登精密工業股份有限公司
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家登精密成立于1998年，是一家全球關鍵性材料創新技術的整合服務商，自主研發的全方位晶圓載具以及光罩載具已然成為新進制程不可或缺的重要產品。半導體產業7納米以下之先進制程高階光罩傳載解決方案-EUV Pod市占率全球第一。晶圓傳載產品有晶圓傳送車、前開式晶圓盒（FOUP/FOSB）、晶圓傳送盒、晶圓盒、晶舟等。家登開發前開式晶圓傳送盒(FOUP)多年，原供應后段封測廠和海外晶圓代工廠為主，明年將打入臺灣晶圓代工大廠。官網：https://www.gudeng.com/12、億尚科技股份有限公司
億尚科技股份有限公司成立于2002年，是半導體晶圓盒專業制造服務的公司，研發及生產各式半導體設備及產品。主要產品將涵蓋晶圓傳送盒、前開式晶圓傳送盒 FOUP、前開式晶圓運輸盒 FOSB、光罩盒 、晶圓載入機 、晶圓盒氮氣充填機等，邁向系統潔凈容器的產品領域，并做晶圓傳送盒清洗代工。官網：https://www.esunsys.com.tw/13、中勤實業股份有限公司
中勤實業股份有限公司成立于1988年，中勤開發在無塵室制程環境中搭配自動化機臺的承載保護運輸高分子材料裝置，包括各貴重金屬材、晶圓、光罩、面板保護承載及傳輸使用等。? ? ? ? ? ? ? ?產品有FOUP、FOSB、晶圓盒、晶舟、晶圓框架、光罩盒、IC托盤、檢測治具等。官網：http://www.ckplas.com/14、能宏工業股份有限公司
能宏工業股份有限公司成立于1997年，為塑料射出成型專業制造廠，除一般射出成型件外，近年來專注于醫療用器具及IC半導體晶圓用外圍包裝材制造。產品包括晶粒盤、晶圓環、晶舟盒、晶圓盒等。15、同泰科技有限公司
同泰科技為精密半導體晶圓／芯片制程加工的包裝材料及零件供應商，產品包括晶圓包裝材料、晶圓包裝盒、晶圓圓盒、晶舟盒、晶圓堆棧盒、抗靜電間隔泡綿等。官網：https://www.tontech.com.tw/16、安天德百電股份有限公司
安天德百電股份有限公司成立于1970年,，是臺灣一家擁有超過50年經驗的專業晶圓儲存盒生產制造服務商，半導體相關產品包括晶圓儲存盒、載帶、托盤等。官網：https://www.itweba.com/17、鎣陞實業股份有限公司
鎣陞實業股份有限公司創立于1986年，多年來持續致力于防靜電包裝緩沖材料的制造與研發，產品有抗靜電的晶圓盒。官網：https://www.romg.com.tw/18、申玥科技股份有限公司
申玥科技股份有限公司成立于2006年，是臺灣一家擁有超過13年經驗的專業鐵氟龍晶舟(PTFE Wafer Boat)服務供應商。官網：https://www.sy-tech.com.tw/19、嵩慶欣業有限公司
嵩慶欣業有限公司成立于1997年，致力于鐵氟龍抽管、CNC自動化加工、噴涂、內襯、焊接等產品制造。專業定做鐵氟龍PFA顯影花籃、蝕刻花籃以及提手等，用于半導體中的刻蝕，蝕刻，顯影，耐酸耐堿制程中。官網：https://www.liakoptfe.com.tw/20、ePAK
ePAK 成立于1999 年, 制造和設計總部位于中國深圳，是一家專注于為半導體自動化制造工藝提供全方位/高精度的承載/運輸產品的制造商。產品覆蓋晶片的前端處理、后端IC的封裝/測試、終端系統部件的組裝處理。2021年11月，智路資本宣布收購ePAK。
產品包括晶圓運輸盒、晶圓框架、晶舟、單片晶圓盒、IC托盤、載帶、緩沖墊等。21、興宇宏半導體科技（蘇州）有限公司
興宇宏半導體科技（蘇州）有限公司成立于2017年，是一家專注于為半導體自動化制造工藝提供全方位/高精度的承載/運輸產品的制造商。產品包括前開式晶圓傳送盒FOUP、多片水平放置晶圓盒、晶舟傳送盒、八角盒、晶圓出貨盒、晶舟、光罩盒、真空吸筆、晶圓夾具等。22、榮耀電子材料有限責任公司
榮耀電子材料有限責任公司成立于2018年，是 Metaline工業有限公司旗下的高新技術企業，為半導體設備在超潔凈的制造和運輸過程中提供全方位包裝產品設計和制造服務。產品有光罩盒、多片水平放置晶圓盒、多片立式放置晶圓盒、單片包裝盒、晶舟、晶圓框架以及泡沫襯墊等。官網：http://www.semiglory.com/23、深圳市邁捷微科技有限公司
深圳市邁捷微科技有限公司成立于2002年4月2日，是集半導體包裝材料的開發、生產、銷售一體的深圳高新技術企業，是半導體產品包裝方案系統解決的服務商。產品包括晶舟盒、晶圓儲運盒、晶圓包裝盒、清洗花籃、單片盒等。官網：http://www.majorway.com.cn/24、深圳海納新材應用技術有限公司
深圳海納新材應用技術有限公司(Hiner-pack)成立于2013年，是一家集設計、制造、銷售半導體IC封裝測試及半導體晶圓制造工藝當中自動傳送、承載、運輸產品的全方位供應商。晶圓載具產品包括立式放置晶圓盒、水平放置晶圓盒、八角盒、罐式晶圓包裝盒、單片晶圓包裝盒、晶舟等。官網：https://www.hiner-pack.com/25、深圳市科晶智達科技有限公司
深圳市科晶智達科技有限公司成立于2001年，為半導體、精密光學器件提供潔凈存儲和安全轉移所使用的包裝制品，產品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、清洗花籃等。官網：https://www.szkejing.com/26、深圳市東虹鑫靜電器材有限公司
深圳市東虹鑫靜電器材有限公司專業從事半導體承載用具系列，防靜電周轉車存儲系列產品的開發、生產、銷售及服務為一體的實力生產廠家，主要產品有晶圓框架盒、晶圓貼片環、半導體料盒、鋁料管、芯片檢測設備、擴晶環、非標夾具等。官網：http://www.dohone.com/27、北京市塑料研究所有限公司
北京市塑料研究所始建于1964年，現所屬于北京市隆達輕工控股有限責任公司。主要是從事塑料加工成型技術及其應用開發方面的研究，生產含氟塑料、通用塑料及工程塑料注塑和擠出制品。產品包括晶片花籃、硅片包裝盒及其配件等。官網：http://www.slyjs.com.cn/28、成都昊瀚科技有限公司
成都昊瀚科技有限公司專注于半導體電子產品抗靜電包裝包材生產服務。產品包括晶圓包裝盒及各類承載架等。官網：http://immensitytech.com/29、南京瑞尼克科技開發有限公司
南京瑞尼克科技開發有限公司是一家集生產，研發，銷售為一體的現代化企業，研發生產PFA、FEP、PTFE系列產品，包括鏡片清洗花籃等。官網：http://www.njrnkyq.com/
南京濱正紅儀器有限公司是專門生產、研發、銷售高科技痕量分析實驗器皿的廠家，主營產品有FEP、PFA、PTFE特氟隆系列產品，消解罐，微波消解罐，反應釜等，半導體產品有聚四氟乙烯清洗花籃等。31、無錫市瑞氟高分子材料有限公司
無錫市瑞氟高分子材料有限公司成立于2014年，是一家致力于氟塑料原材料銷售及其制品的生產和研發的企業。瑞氟可以生產 PTFE、TFM、PFA 等大型組件，包括晶片花籃等。官網：http://www.rayflon.com/32、福建省三州光電科技有限公司
福建省三州光電科技有限公司成立于2017年，是一家集半導體包裝材料研發、生產、銷售為一體的科技企業，是半導體產品包裝方案系統解決的專業服務商，投建三州晶舟盒項目生產晶圓芯片轉運包裝盒。原文始發于微信公眾號（艾邦高分子）：30家晶圓載具企業盤點
