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7月29日據韓媒報道,韓國高等科學技術研究院(KAIST)宣布,由電氣電子工程學院的Sang-Hyun Kim教授領導的研究團隊利用單片式3D集成技術,成功研發了1600 PPI等效Micro LED顯示器。

 

值得注意的是,1600 PPI是適用于超高分辨率增強現實(AR)和虛擬現實(VR)顯示器的分辨率。

 

用于AR/VR,國外團隊成功研發1600 PPI Micro LED顯示器
單片式三維堆疊Micro LED顯示器驅動的圖像
實際上,為了利用基于無機物的Micro LED 制作顯示器,需將每種光色(紅光、藍光和綠光)的芯片從各自基板上分離出來,并將它們轉移到顯示面板上。而常用的轉移方法是通過Pick-and-Place取放方案將每個芯片移動至顯示面板;而隨著芯片尺寸不斷縮小,轉移良率也會降低,因此難以應用于超高分辨率顯示器的生產。
為了解決這個問題,KAIST的研究團隊在Si-CMOS顯示驅動電路板上,通過3D堆疊方式集成紅色Micro LED。該方法首先通過晶圓鍵合將Micro LED薄膜層轉移到Si-CMOS電路板上,然后通過光刻工藝生成像素。之后,研究團隊通過從上到下(Top-down)的連續半導體工藝,在 Si-CMOS電路板上成功開發了高分辨率顯示器。
在此過程中,研究團隊通過設計一種用于顯示的LED半導體層,將用于發光的有源層的厚度減少到現有的三分之一,減少像素形成所需的蝕刻工藝的難度,從而取得本次研究的成果。
另外,為防止下層顯示驅動電路性能下降,研究團隊采用晶圓鍵合等超低溫工藝,在350度以下集成上層III-V族元素,保持下層驅動IC在上層元件被整合之后,性能保持不變。
據悉,本研究成果是一項以三維堆疊方式集成紅色Micro LED,成功實現1600 PPI的世界級分辨率的研究,研究運用的單片式3D集聚方式,為下一代超高分辨率顯示的開發提供了指導方向。金尚賢教授表示,未來可以通過應用類似的工藝,制作出包括紅、綠、藍光的全彩顯示器。
值得一提的是,本次研究還獲得了三星未來技術開發中心的支持。
來源:行家說

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