? “可用于生產(chǎn)高純度多晶硅的高絕緣氮化硅材料關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”獲院士認(rèn)可，技術(shù)水平“國際領(lǐng)先”！

? 2023年9月6日，中國高科技產(chǎn)業(yè)化研究會(huì)和北京高科新創(chuàng)科技評估中心在北京組織召開了“可用于生產(chǎn)高純度多晶硅的高絕緣氮化硅材料關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用” 產(chǎn)學(xué)研合作項(xiàng)目科技成果評價(jià)會(huì)。會(huì)議邀請了來自中國科學(xué)院、清華大學(xué)、工業(yè)和信息化部政策法規(guī)司、北京有色金屬研究總院、中國環(huán)境監(jiān)測總站、國家科技獎(jiǎng)勵(lì)辦、中國化工集團(tuán)等單位專家領(lǐng)導(dǎo)形成評審委員會(huì)。

? 專家組認(rèn)為，該項(xiàng)目針對多晶硅生產(chǎn)用氧化鋁絕緣件存在的力學(xué)性能低、抗熱震性能較差、高溫還原性氣氛下絕緣強(qiáng)度不夠、使用壽命短等不足，嚴(yán)重影響多晶硅生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的品質(zhì)，開發(fā)出可替代氧化鋁材料的新型氮化硅特種材料制備技術(shù)及絕緣件制品，取得了多項(xiàng)技術(shù)創(chuàng)新，技術(shù)指標(biāo)先進(jìn)，市場占有率達(dá)到70%。

? 會(huì)上，李亞東院士鼓勵(lì)企業(yè)，技術(shù)研發(fā)要尊重科學(xué)，尊重創(chuàng)新歷史，摒棄概念，用科學(xué)數(shù)據(jù)嚴(yán)謹(jǐn)支撐技術(shù)創(chuàng)新鏈條，系統(tǒng)化對比國際同類技術(shù)，深度挖掘凝練差異化創(chuàng)新，精準(zhǔn)呈現(xiàn)技術(shù)領(lǐng)先性，提高獎(jiǎng)項(xiàng)、課題等申報(bào)效率。【高科新創(chuàng)信息中心】

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