近日電科材料宣布,下屬國盛公司大尺寸硅外延材料產(chǎn)業(yè)化項目第一枚碳化硅外延產(chǎn)品誕生,標志著電科材料碳化硅產(chǎn)業(yè)化建設(shè)迎來了新階段。
項目現(xiàn)場廠房內(nèi),百余名外延設(shè)備保障工程師、測試儀器工程師、工藝研發(fā)工程師、廠家調(diào)試工程師、廠務(wù)運行人員與施工方,共同見證了首爐下線的這一重要時刻,首枚碳化硅外延產(chǎn)品誕生,預(yù)示著后續(xù)新品全尺寸檢測評估,向客戶提供驗證樣片工作正式啟動,國盛公司已步入第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的快車道。
中電科半導(dǎo)體材料有限公司一直在積極推進碳化硅外延產(chǎn)業(yè)發(fā)展,2021年9月,其下屬公司南京國盛電子有限公司的“外延材料產(chǎn)業(yè)基地項目”簽約落戶江寧開發(fā)區(qū),據(jù)悉,該項目占地面積約10萬平方米,分兩期實施,其中一期將建設(shè)成立第三代化合物外延材料等。
據(jù)了解,國盛電子前身為中電科55所材料研究室外延組,從上世紀八十年代開始從事外延材料的研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化工作,在2003年成立公司,專業(yè)從事硅材料、碳化硅、氮化鎵等材料的研發(fā)、生產(chǎn)。
2023年6月,“外延材料產(chǎn)業(yè)基地項目”實現(xiàn)首批設(shè)備正式入場,建設(shè)了外延主廠房、晶體加工廠房、綜合試驗樓、動力站等相關(guān)建筑。
2023年11月10日,國盛電子的外延材料產(chǎn)業(yè)基地宣布正式投產(chǎn)運行,據(jù)介紹,該項目一期投資19.3億元,年產(chǎn)8-12英寸硅外延片456萬片,年產(chǎn)6-8英寸化合物外延片12.6萬片。
晶睿電子碳化硅外延送樣驗證
近期在碳化硅外延上取得進展的不止國盛電子一家,就在前幾日,民德電子回答投資者提問,公司參股的浙江晶睿電子科技有限公司碳化硅外延片產(chǎn)品已有明確的意向客戶,目前處于給客戶送樣及驗證階段。
資料顯示,晶睿電子成立于2020年5月,是一家半導(dǎo)體制造企業(yè),主要進行高端電子級半導(dǎo)體材料、用于智能感知系統(tǒng)的特種硅片、以及第三代化合物半導(dǎo)體外延片的研發(fā)和制造。
晶睿電子產(chǎn)品包括在硅拋光片上的外延,器件工藝過程中的埋層外延,以及功率器件Cool MOS中的外延以及傳感器用的硅片等,同時從事硅基GaN和SiC外延的研發(fā)和小批量生產(chǎn)。
今年1月,晶睿電子獲得古道資本的投資,古道資本消息顯示,?晶睿電子由國內(nèi)最早從事硅片國產(chǎn)化技術(shù)攻關(guān)的技術(shù)團隊所創(chuàng)立,創(chuàng)始人張峰博士是國內(nèi)硅片領(lǐng)域著名的科學(xué)家,曾榮獲國家發(fā)明一等獎,承擔國家級重大專項項目,企業(yè)團隊從事半導(dǎo)體材料行業(yè)20余年。
江豐電子碳化硅外延產(chǎn)線已具備生產(chǎn)能力
無獨有偶,12月6日,江豐電子也在投資者互動平臺表示,公司通過控股子公司從事研發(fā)、生產(chǎn)和銷售碳化硅半導(dǎo)體外延晶片業(yè)務(wù),目前相關(guān)產(chǎn)線正在積極推進建設(shè)中,已具備一定的生產(chǎn)能力。
資料顯示,江豐電子創(chuàng)建于2005年,專業(yè)從事超大規(guī)模集成電路制造用超高純金屬材料及濺射靶材的研發(fā)生產(chǎn),公司已于2017年6月在深交所成功上市。今年9月25日,江豐電子攜SiC外延片等多種產(chǎn)品亮相北京微電子國際研討會暨IC WORLD大會,引發(fā)了外界對其SiC外延片業(yè)務(wù)進展的持續(xù)關(guān)注。
今年2月,江豐電子控股子公司寧波江豐同芯半導(dǎo)體材料(簡稱“江豐同芯”)舉行了開業(yè)暨投產(chǎn)儀式,目前江豐同芯已搭建完成國內(nèi)首條具備世界先進水平、自主化設(shè)計的第三代半導(dǎo)體功率器件模組核心材料制造生產(chǎn)線,成為該領(lǐng)域擁有獨立知識產(chǎn)權(quán)、工藝技術(shù)先進、材料規(guī)格齊全、產(chǎn)線自動化的國產(chǎn)化覆銅陶瓷基板大型生產(chǎn)基地,覆銅陶瓷基板作為用于第三代半導(dǎo)體封測的關(guān)鍵材料,市場整體一直處于供不應(yīng)求狀態(tài)。
此外,江豐電子還在今年3月投資了六方半導(dǎo)體,官網(wǎng)資料顯示,六方半導(dǎo)體致力于半導(dǎo)體新材料研發(fā),聚焦SiC涂層技術(shù)的研發(fā)及其在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用,公司主要產(chǎn)品為LED芯片外延用SiC涂層基座、第三代半導(dǎo)體外延基座和組件等。
既通過控股子公司進行自主研發(fā),又投資相關(guān)廠商,江豐電子正在通過多種手段入局SiC領(lǐng)域,為產(chǎn)業(yè)未來的爆發(fā)提前準備技術(shù)和產(chǎn)能。
碳化硅外延處于產(chǎn)業(yè)鏈中間環(huán)節(jié),有著承上啟下的作用,所有的器件基本上都需要在外延上實現(xiàn),因此碳化硅外延的質(zhì)量對器件的性能和良率有著決定性的影響,目前國內(nèi)碳化硅產(chǎn)能約為45萬片/年,預(yù)計到2025年,將擴大至300萬片,從市場需求來看,碳化硅外延將長期處于供不應(yīng)求的狀態(tài),相關(guān)企業(yè)將迎來發(fā)展機遇。
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