國內(nèi)6英寸碳化硅襯底和外延在近兩年獲得了大量投資和量產(chǎn),而隨著電子設(shè)備對(duì)更高性能和更低能耗的需求日益增長,8英寸SiC晶圓將為晶圓廠的生產(chǎn)效率、成本效益和技術(shù)應(yīng)用等方面帶來顯著優(yōu)勢,需求也在日益凸顯。
從生產(chǎn)效率來看,8英寸晶圓可以切割出更多的芯片,提高生產(chǎn)量和效率,同時(shí) 8 英寸襯底厚度增加有助于在加工時(shí)保持幾何形狀、減少邊緣翹曲度,降低缺陷密度,從而提升良率;
?在技術(shù)應(yīng)用方面,8英寸SiC晶圓為電力電子器件的設(shè)計(jì)和制造提供了更多可能性,更大的晶圓尺寸允許制造商在單片晶圓上集成更多的功能區(qū)域;
?從成本效益分析,根據(jù) Wolfspeed 數(shù)據(jù),從 6 英寸升級(jí)到 8 英寸,襯底的加工成本有所增加,但合格芯片產(chǎn)量可以增加 80%-90%,采用 8 英寸襯底可以將單位綜合成本降低 50%。
國外8英寸碳化硅襯底已在量產(chǎn)前夕,而國內(nèi)也在加快8英寸碳化硅晶圓的量產(chǎn)進(jìn)程,在Semicon China期間,碳化硅襯底和外延參展企業(yè)幾乎都展示了8英寸樣品。
山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司
天岳先進(jìn)上海工廠自2023年投產(chǎn)以來, 6英寸襯底的產(chǎn)量擴(kuò)產(chǎn)順利,交付穩(wěn)定。天岳先進(jìn)實(shí)現(xiàn)了8英寸碳化硅襯底產(chǎn)品的批量銷售。在展會(huì)期間,天岳先進(jìn)推出了采用液相法制備的P型碳化硅襯底,為碳化硅向以智能電網(wǎng)為代表的更高電壓領(lǐng)域提供了可能性。
廣東天域半導(dǎo)體股份有限公司
天域半導(dǎo)體展示了6-8英寸碳化硅襯底、外延片、晶圓以及MOS管、模塊等產(chǎn)品。




北京天科合達(dá)半導(dǎo)體有限公司
天科合達(dá)展出6-88英寸碳化硅外延片及碳化硅襯底等產(chǎn)品

河北同光半導(dǎo)體股份有限公司
?同光股份展示了6-8英寸導(dǎo)電性碳化硅襯底、6英寸半絕緣型碳化硅襯底、碳化硅晶錠等產(chǎn)品。

中電科半導(dǎo)體材料有限公司
中電科半導(dǎo)體材料有限公司攜山西爍科晶體有限公司、河北普興電子科技股份有限公司、南京國盛電子有限公司參展,產(chǎn)品包括:4~6英寸高純半絕緣碳化硅襯底、4~8英寸N型碳化硅晶體及襯底及4~8英寸碳化硅外延等。




浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
晶盛機(jī)電圍繞“先進(jìn)材料、先進(jìn)裝備”的雙引擎可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略,持續(xù)深化“裝備+材料”的協(xié)同產(chǎn)業(yè)布局。在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域,公司聚焦6-8英寸碳化硅襯底的產(chǎn)業(yè)化,致力于從長晶-切磨拋-外延全鏈條設(shè)備的國產(chǎn)替代。

寧波合盛新材料有限公司
寧波合盛新材料展示了6-8英寸導(dǎo)電性碳化硅襯底及外延片。
山西天成半導(dǎo)體材料有限公司
天成半導(dǎo)體展示了碳化硅粉料、晶錠、6-8英寸碳化硅襯底等產(chǎn)品。
山西天成半導(dǎo)體材料有限公司是由多位SiC領(lǐng)域博士及具有頭部生產(chǎn)企業(yè)任職經(jīng)歷的業(yè)內(nèi)一線人員發(fā)起,是一家專注于第三代半導(dǎo)體碳化硅襯底材料研發(fā)、生產(chǎn)及相關(guān)生長裝備制造的高新技術(shù)企業(yè)。2023年,榮獲“第三代半導(dǎo)體年度新銳企業(yè)”,公司具備成熟科研團(tuán)隊(duì)、迭代技術(shù)儲(chǔ)備。

希科半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司
希科半導(dǎo)體展示了碳化硅外延片。
杭州海乾半導(dǎo)體有限公司
海乾半導(dǎo)體展示的是6-8英寸4H-SiC單極型器件用碳化硅外延片及4H-SiC雙極型器件用碳化硅外延片。
南京百識(shí)電子科技有限公司
南京百識(shí)電子展示了6-8英寸碳化硅外延片。
中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體科技股份有限公司
中環(huán)領(lǐng)先攜4-12英寸化腐片、拋光片、退火片、外延片、SOI片等全產(chǎn)品系列展出,包括6-8英寸的碳化硅外延片。
中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體科技股份有限公司,專注于半導(dǎo)體材料及其延伸產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的研發(fā)和制造,堅(jiān)持為全球客戶提供Total Solution全產(chǎn)品解決方案,產(chǎn)品涵蓋4-12英寸化腐片、拋光片、退火片、外延片、SOI片等。

原文始發(fā)于微信公眾號(hào)(艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)):Semicon 2024精彩回顧:碳化硅8英寸晶圓量產(chǎn)持續(xù)升溫