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國內(nèi)6英寸碳化硅襯底和外延在近兩年獲得了大量投資和量產(chǎn),而隨著電子設(shè)備對(duì)更高性能和更低能耗的需求日益增長,8英寸SiC晶圓將為晶圓廠的生產(chǎn)效率、成本效益和技術(shù)應(yīng)用等方面帶來顯著優(yōu)勢,需求也在日益凸顯。

  • 從生產(chǎn)效率來看,8英寸晶圓可以切割出更多的芯片,提高生產(chǎn)量和效率,同時(shí) 8 英寸襯底厚度增加有助于在加工時(shí)保持幾何形狀、減少邊緣翹曲度,降低缺陷密度,從而提升良率;

  • ?在技術(shù)應(yīng)用方面,8英寸SiC晶圓為電力電子器件的設(shè)計(jì)和制造提供了更多可能性,更大的晶圓尺寸允許制造商在單片晶圓上集成更多的功能區(qū)域;

  • ?從成本效益分析,根據(jù) Wolfspeed 數(shù)據(jù),從 6 英寸升級(jí)到 8 英寸,襯底的加工成本有所增加,但合格芯片產(chǎn)量可以增加 80%-90%,采用 8 英寸襯底可以將單位綜合成本降低 50%。

國外8英寸碳化硅襯底已在量產(chǎn)前夕,而國內(nèi)也在加快8英寸碳化硅晶圓的量產(chǎn)進(jìn)程,在Semicon China期間,碳化硅襯底和外延參展企業(yè)幾乎都展示了8英寸樣品。

碳化硅襯底

山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司

 

山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司成立于2010年11月,是一家專注于碳化硅單晶襯底材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的科技型企業(yè)。2023年天岳先進(jìn)襯底銷量超過20萬片,與英飛凌、博世等下游電力電子、汽車電子領(lǐng)域的國際知名企業(yè)簽署了新的長期合作協(xié)議。

Semicon 2024精彩回顧:碳化硅8英寸晶圓量產(chǎn)持續(xù)升溫

天岳先進(jìn)上海工廠自2023年投產(chǎn)以來, 6英寸襯底的產(chǎn)量擴(kuò)產(chǎn)順利,交付穩(wěn)定。天岳先進(jìn)實(shí)現(xiàn)了8英寸碳化硅襯底產(chǎn)品的批量銷售。在展會(huì)期間,天岳先進(jìn)推出了采用液相法制備的P型碳化硅襯底,為碳化硅向以智能電網(wǎng)為代表的更高電壓領(lǐng)域提供了可能性。

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廣東天域半導(dǎo)體股份有限公司

天域半導(dǎo)體展示了6-8英寸碳化硅襯底、外延片、晶圓以及MOS管、模塊等產(chǎn)品。

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廣東天域半導(dǎo)體股份有限公司成立于2009年,是我國最早實(shí)現(xiàn)第三代半導(dǎo)體碳化硅外延片產(chǎn)業(yè)化的企業(yè),也是國內(nèi)第一家獲得汽車質(zhì)量認(rèn)證(IATF 16949)的碳化硅半導(dǎo)體材料企業(yè)。憑借先進(jìn)的外延工藝向下游客戶提供N型、P型摻雜半導(dǎo)體材料,制作650V~3,300V、3,300V~20,000V單極和雙極功率器件,主要包括SBD、MOSFET、IGBT、JBS 等。

北京天科合達(dá)半導(dǎo)體有限公司

天科合達(dá)展出6-88英寸碳化硅外延片及碳化硅襯底等產(chǎn)品

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北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司于2006年9月由新疆天富集團(tuán)、中國科學(xué)院物理研究所共同設(shè)立,SiC晶片已通過IATF16949:2016車規(guī)級(jí)質(zhì)量管理體系認(rèn)證。產(chǎn)業(yè)涵蓋碳化硅單晶爐制造、碳化硅單晶生長原料制備、碳化硅單晶襯底制備和碳化硅外延制備。

河北同光半導(dǎo)體股份有限公司

?同光股份展示了6-8英寸導(dǎo)電性碳化硅襯底、6英寸半絕緣型碳化硅襯底、碳化硅晶錠等產(chǎn)品。

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河北同光半導(dǎo)體成立于2012年,自2017年始就已經(jīng)有碳化硅單晶型襯底片面世,憑借著多年來不斷增強(qiáng)的研發(fā)實(shí)力,攻克了高純碳化硅原料合成、晶型和結(jié)晶質(zhì)量控制、籽晶特殊處理等多個(gè)關(guān)鍵技術(shù)難題,掌握了高品質(zhì)、低缺陷碳化硅單晶襯底制備技術(shù),并實(shí)現(xiàn)技術(shù)成果轉(zhuǎn)化,使產(chǎn)品不斷向大尺寸,高質(zhì)量,低缺陷方面快速迭代,目前產(chǎn)品各項(xiàng)指標(biāo)處于行業(yè)領(lǐng)先。

中電科半導(dǎo)體材料有限公司

中電科半導(dǎo)體材料有限公司攜山西爍科晶體有限公司、河北普興電子科技股份有限公司、南京國盛電子有限公司參展,產(chǎn)品包括:4~6英寸高純半絕緣碳化硅襯底、4~8英寸N型碳化硅晶體及襯底及4~8英寸碳化硅外延等。

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電科材料深耕半導(dǎo)體材料,致力于建設(shè)成為世界一流電子功能材料企業(yè),近年來在第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域不斷取得新突破,山西碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地和石家莊、南京外延材料產(chǎn)業(yè)基地相繼建成并投產(chǎn),碳化硅單晶襯底、硅外延和碳化硅外延制造水平達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先。

浙江晶盛機(jī)電股份有限公司

晶盛機(jī)電圍繞“先進(jìn)材料、先進(jìn)裝備”的雙引擎可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略,持續(xù)深化“裝備+材料”的協(xié)同產(chǎn)業(yè)布局。在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域,公司聚焦6-8英寸碳化硅襯底的產(chǎn)業(yè)化,致力于從長晶-切磨拋-外延全鏈條設(shè)備的國產(chǎn)替代。

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寧波合盛新材料有限公司

寧波合盛新材料展示了6-8英寸導(dǎo)電性碳化硅襯底及外延片。

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寧波合盛新材料有限公司成立于2018年,是一家專業(yè)從事新型材料研究,生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè),由上市公司合盛硅業(yè)份有限公司發(fā)起成立并控股。公司業(yè)務(wù)涵蓋第三代半導(dǎo)體S1C村底及外延的研發(fā),生產(chǎn)與銷售。目前,合盛新材料正在建設(shè)導(dǎo)電型6英寸和8英寸碳化硅村底與外延片產(chǎn)線,已實(shí)現(xiàn)投資規(guī)模超過10億元,未來隨著產(chǎn)線規(guī)模的繼續(xù)擴(kuò)大,合新材料將成長為具有國際競爭力的碳化硅半導(dǎo)體材料研發(fā)和生產(chǎn)企業(yè)。

山西天成半導(dǎo)體材料有限公司

天成半導(dǎo)體展示了碳化硅粉料、晶錠、6-8英寸碳化硅襯底等產(chǎn)品。

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山西天成半導(dǎo)體材料有限公司是由多位SiC領(lǐng)域博士及具有頭部生產(chǎn)企業(yè)任職經(jīng)歷的業(yè)內(nèi)一線人員發(fā)起,是一家專注于第三代半導(dǎo)體碳化硅襯底材料研發(fā)、生產(chǎn)及相關(guān)生長裝備制造的高新技術(shù)企業(yè)。2023年,榮獲“第三代半導(dǎo)體年度新銳企業(yè)”,公司具備成熟科研團(tuán)隊(duì)、迭代技術(shù)儲(chǔ)備。

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碳化硅外延

希科半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司

希科半導(dǎo)體展示了碳化硅外延片。

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希科半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司專注于第三代半導(dǎo)體核心關(guān)鍵材料—碳化硅外延晶片(SiC Epitaxy Wafer)的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化,為客戶提供低缺陷率和高均勻性要求的6寸導(dǎo)電型碳化硅外延晶片。產(chǎn)品主要用于制造SiC SBD、SiC MOSFET、SiC JFET和SiC BJT等碳化硅電力電子器件。

杭州海乾半導(dǎo)體有限公司

海乾半導(dǎo)體展示的是6-8英寸4H-SiC單極型器件用碳化硅外延片及4H-SiC雙極型器件用碳化硅外延片。

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海乾半導(dǎo)體是一家專注于第三代半導(dǎo)體材料SiC外延片的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售的高科技企業(yè)。團(tuán)隊(duì)核心成員均具有12年以上的專業(yè)從業(yè)經(jīng)驗(yàn),基于多年的技術(shù)沉淀和豐富的管理經(jīng)驗(yàn),海乾半導(dǎo)體掌握著全球領(lǐng)先的SiC外延片量產(chǎn)技術(shù)。

南京百識(shí)電子科技有限公司

南京百識(shí)電子展示了6-8英寸碳化硅外延片。

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南京百識(shí)電子科技有限公司于2019年底落地南京浦口區(qū),是國內(nèi)專門生產(chǎn)第三代半導(dǎo)體碳化硅及氮化鎵相關(guān)外延片的領(lǐng)導(dǎo)廠商,產(chǎn)品包含以碳化硅SiC為襯底?(SiC on SiC、GaN on SiC),以及硅為襯底(GaN on Silicon)的外延片,針對(duì)大尺寸、高壓、高功率以及射頻微波等應(yīng)用市場提供高品質(zhì)、高一致性、高可靠度的碳化硅及氮化鎵外延片產(chǎn)品及專業(yè)代工服務(wù)。

中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體科技股份有限公司

中環(huán)領(lǐng)先攜4-12英寸化腐片、拋光片、退火片、外延片、SOI片等全產(chǎn)品系列展出,包括6-8英寸的碳化硅外延片。

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中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體科技股份有限公司,專注于半導(dǎo)體材料及其延伸產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的研發(fā)和制造,堅(jiān)持為全球客戶提供Total Solution全產(chǎn)品解決方案,產(chǎn)品涵蓋4-12英寸化腐片、拋光片、退火片、外延片、SOI片等。

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