創始人劉智謀博士畢業于中國科學院金屬研究所高性能陶瓷部，具備十余年的先進陶瓷材料的研發和生產經驗。公司成立一年多，已經匯集了六十余名員工，公司多個核心團隊成員擁有20余年的陶瓷行業量產經驗，團隊成員涵蓋了陶瓷設計、產品開發、精密加工、生產管理、銷售等多個領域資深人才。

公司緊抓高端產品“國產替代”和核心技術“自主可控”的戰略機遇，致力于將「中科金瓷」建成為半導體制程精密陶瓷材料與部件領域的技術創新型企業。

目前公司主要產品包括各類陶瓷結構件、以及晶圓靜電吸盤、陶瓷加熱盤等精密陶瓷零部件，廣泛應用于半導體制程設備、光伏新能源等多個細分領域，目前多款國產替代產品已進入國內知名半導體設備廠驗證階段。

公司主要產品

陶瓷材料在強度、精度、電學性能和耐腐蝕性等方面的優異表現，能滿足真空、高溫等特殊環境下的半導體制造復雜性能要求，是半導體制程中多道工藝設備的重要部件。精密陶瓷零部件廣泛應用于光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、CMP等多個半導體制造關鍵流程的核心設備中，如軸承、導軌、內襯。

靜電吸盤、機械搬運臂等，尤其是在設備腔體內部，發揮支撐、保護、導流等功能。在半導體設備中，精密陶瓷的價值約占16%左右。

靜電吸盤是一種針對半導體制程中精密硅片的新型夾持器件。傳統的晶圓夾持方法受眾多真空制程限制，例如機械夾持容易造成盤片損傷、降低產品良率，而真空吸附在真空等環境失效，不能滿足半導體產業技術需求。

靜電吸盤主要原理是在絕緣介質兩個極板間施加電壓形成靜電場，當物體靠近極板時由于靜電感應而在物體表面感生與電極表面極性相反的電荷，從而因靜電吸力而被吸盤吸附。

靜電吸盤按吸附原理分為庫倫型和J/R（瓊斯背熱）型。庫倫型吸盤吸附力偏小，但對靜電吸盤的微小缺陷不太敏感，并且可以工作在常溫環境，實現起來較為容易，J-R吸盤吸附力大，但需要對吸盤進行加熱，對吸盤的整體設計要求高。

典型的靜電吸盤結構一般是類三明治結構，主要分為陶瓷電介質層、電極層、基底層。在夾持硅片的過程中，直流電壓加持在電極上，形成電極與硅片之間的電極差，硅片則通過靜電吸附力被夾持在靜電吸盤上。

靜電吸盤結構?圖片來源：Shinko官網

加熱盤為半導體制程中的加熱載體，可實現均勻溫度分布，對晶圓均勻加熱，使襯底表面上進行高精度的反應。靜電吸盤和加熱盤原理和結構類似，均屬于功能+結構的產品。

靜電吸盤及加熱盤制造工藝中最為重要的是與晶圓直接接觸的陶瓷電介質層，主要分為氧化鋁陶瓷和氮化鋁陶瓷兩大類，晶圓直接與陶瓷層接觸并被吸附，需要高導熱率、高耐磨性、良好電性能等綜合性能要求。

此外靜電吸盤、加熱盤的吸附均勻性和溫度均勻性是影響工序結果和晶圓健康的重要因素。

靜電吸盤吸附力與陶瓷的材料性能密切相關，靜電力與介電常數正相關，所以在陶瓷材料生產過程中需要通過材料及配方的設計及燒結工藝的優化，對陶瓷材料進行電性能調控。

吸附均勻性與陶瓷層及電極層加工精度等密切相關，電介質層厚度、掩膜與界面空隙、浮點的高度和平整度均會對吸附均勻性有很大的影響。例如J-R靜電力需要靜電吸盤與晶圓互相緊密接觸，吸附力隨著空隙增大會迅速下降，超過30nm會降至0，因此電介質與晶圓間距以及陶瓷表面粗糙度至關重要。

靜電力與電介質與晶圓間距關系

溫度均勻性通過加熱電極設計以及基底的He氣氣道、水道等導熱系統進行控制。制程中產生的熱量可以通過通入He氣來使晶圓降溫，加熱電極和循環冷卻水的同時作用，使晶圓可以保持在一個穩定的溫度，避免采用單一的冷卻循環水，使制程過程中產生的熱量無法計算，影響工藝的穩定性。

伴隨著全球及中國半導體市場的不斷擴增，泛半導體結構精密陶瓷市場規模逐步增長。根據弗若斯特沙利文數據顯示，預計到2026年全球泛半導體先進結構陶瓷市場規模將達到514億元，中國市場規模將達到125億元。受益于半導體設備市場的增長，靜電吸盤及加熱盤市場規模逐步擴大，預計2028年靜電吸盤中國市場規模達5.24億美元，加熱器中國市場規模達到1.72億美元。

精密陶瓷技術研發難度大、海外廠商起步早，靜電吸盤加熱盤等精密陶瓷零部件市場長期被美國Applied Materials、Lam Research，日本SHINKO（新光電氣）、Kyocera、NGK等廠商占據，全球半導體設備用精密陶瓷廠商高度集中，日、美、歐占據90%的市場份額。

中國在半導體的設計和制造鏈條中起步較晚，積累相對薄弱，精密結構陶瓷受進口壟斷，2015年結構陶瓷國產化率僅約為5%，2021年提高至約20%，但半導體設備用結構陶瓷零部件國產化率仍較低。

在陶瓷零部件制備方面，公司突破了國產精密陶瓷發展受高純粉體原材料缺乏、高效工藝制程以及超精密加工能力不足的限制，具備通過粉體預處理和添加摻雜，燒結助劑，調阻劑等配方調配的性能調控能力，公司產品陶瓷體積電阻率可以達到E^8-10^11Ω*cm，依靠以流延成型、高溫共燒等成型燒結技術，保證產品優異性能的同時產品幾乎沒有明顯的變形；建立了大尺寸平面陶瓷超高精度加工能力，陶瓷表面凸起點的高度小于30μm、且12寸區域內每個凸起點高度差1%以內。真正掌握了從粉體制備、粉體處理、成形、燒結、機加工及檢測各環節系統調控的核心技術與能力。

在下游應用領域，公司業務聚焦在半導體設備領域，專注于國產化替代和產品創新：國產化替代方面，公司主要解決半導體設備用精密陶瓷零部件國外壟斷問題，在產品創新方面，公司通過從粉體調配到高精機加工全流程設計與優化，以核心技術賦能陶瓷配方與工藝創新。公司多溫區加熱盤等多款產品已經在國內知名半導體設備廠商進行多輪驗證。

本輪融資完成后，公司將持續引進高端人才，加強研發人才隊伍建設，助力企業快速實現靜電吸盤、陶瓷加熱盤等精密陶瓷零部件產品的國產替代和全球產品創新的開發落地。同步布局東北區域研發、生產中心，沈陽子公司已完成注冊及實繳工作，落地于沈陽市航空產業園，目前正積極籌劃產線建設、本地業務拓展中，部分產品外委小批量試產。通過多中心協同發展，進一步加快公司產品的推廣，為客戶提供可靠定制化產品和創新方案。

近年來，沈陽產研院成功打造了“盛科”品牌，創新探索了撥投結合、直接投資、研發外置、直投轉股、校院聯投等科技成果轉化服務模式，累計支持重點項目50余項；擁有一支高學歷、技術能力強、綜合素質高的技術經理人隊伍，全力打造了由首席科學家、青年人才和盛科研究生共同組成的人才引進、培養、激勵與發展的體系；竭力構建“科技+產業+金融”生態體系，建成基金產品6支，基金總規模達6億余元；堅持互聯互通，與龍頭企業共建企業聯合創新中心30余家，加盟新型研發機構20余家，積極打造低空經濟創新中心，承接清華大學-沈陽市青年創新創業實踐基地、北京大學創新創業實踐教育基地等科創資源樞紐，加入世界工業技術研究組織協會并成為會員單位，為新技術、新產品搭建產業鏈供應鏈對接平臺。

沈陽產研院在理事會的領導下，正助力沈陽打造重大技術創新策源地，當好沈陽科技創新的“排頭兵”，致力于建設成為東北區域綜合類國家技術創新中心。

盛科創投管理的首支基金產品--沈陽市盛科成果轉化基金是沈陽的首支科技成果轉化基金，該基金于23年3月完成產品備案進入運營階段。經過3年的快速發展，盛科創投已累計建設、管理及參與的基金產品6支，投資科技成果轉化及科技創新項目16個，預計24年底管理規模達8億元。盛科創投已經初步建設了覆蓋科技成果轉化的早期和成長期不同階段的概念驗證基金、轉化基金、加速基金等產品，并通過建立中試基地專項基金以及新能源新材料等領域垂直行業基金，形成了多層次的科技成果轉化與創新投資體系。

盛科創投后續將持續支持各類科技創新企業發展、探索科技創新投資新模式、為沈陽科技生態發展提供助力。

新松半導體（大氣與真空晶圓傳輸手）、美行科技（車載導航）、航燃科技（兩機測試服務）、遠程摩擦（摩擦材料）、中科金瓷（晶圓靜電吸盤與加熱器等）、冷芯半導體（半導體微型制冷芯片）、中睿科技（3D探地雷達）、鑫譜晶體（特種光學晶體材料）、科利醫療（近紅外II區熒光成像系統）、盛科鑫通（小口徑人工血管）等。

原文始發于微信公眾號（沈陽產業技術研究院）：沈陽產研院投資企業「中科金瓷」落地沈陽