隨著各行業智能化的快速發展，所有行業對傳感器的需求都呈井噴式增長。壓力傳感器作為三大主要傳感器類型之一，其在各行業都被廣泛應用。據前瞻產業研究院發布的報告顯示，2021年壓力傳感器市場規模超百億，發展駛入快車道。
壓力傳感器的應用十分廣泛。陶瓷壓力傳感器的基材基本以氧化鋁Al2O3陶瓷為主，根據實現的原理可以分為電容式壓力傳感器和壓阻式壓力傳感器。
陶瓷電容技術采用固定式陶瓷基座和可動陶瓷膜片結構，可動膜片通過玻璃漿料等方式與基座密封固定在一起。兩者之間內側印刷電極圖形，從而形成一個可變電容，當膜片上所承受的介質壓力變化時兩者之間的電容量隨之發生變化，通過調理芯片將該信號進行轉換調理后輸出給后級使用。陶瓷電容技術具有成本適中，量程范圍寬，溫度特性好、一致性、長期穩定性好等優勢。國際上來看廣泛應用于汽車與工業過程控制等領域，分別以美國森薩塔和瑞士E+H為代表。由于電容信號不同于電阻信號，對信號處理電路要求較高，傳感器設計時需要將電容和信號調理芯片ASIC協同考慮，國內目前僅蘇州納芯微電子股份有限公司能夠同時提供兩者整合的完整解決方案。
常規的硅阻和陶瓷電阻產品由于其自身結構和材料特點，很難在高溫和腐蝕測試環境中保證測量精度和長期可靠性，陶瓷電容式壓力傳感器正好克服了兩者的劣勢，可在高溫和腐蝕環境下保證測量精度和長期可靠性。
陶瓷電阻技術采用厚膜印刷工藝將惠斯通電橋印刷在陶瓷結構的表面，利用壓敏電阻效應，實現將介質的壓力信號轉換為電壓信號。陶瓷電阻技術具有成本適中，工藝簡單等優勢，目前國內有較多廠家提供陶瓷電阻壓力傳感器芯體。但該技術信號輸出靈敏度低，量程一般限定在500kPa~10MPa，且常規中空結構，僅靠膜片承壓，抗過載能力差，當待測介質壓力過載時，陶瓷電阻傳感器會存在膜片破裂，介質泄露的風險。
原文始發于微信公眾號（艾邦陶瓷展）：陶瓷壓力傳感器分類
