今天要給大家介紹的是AMB陶瓷覆銅板。在介紹之前,我們先對概念進行解釋一下,根據陶瓷基板的3維結構,可以分為平面和多層,我們熟知的LTCC,HTCC就屬于是多層的。而平面的有薄膜基板,厚膜基板,陶瓷覆銅基板等。AMB活性金屬焊接陶瓷基板(Active Metal Brazing Ceramic Substrate)其實是我們此前介紹的DBC直接鍵合銅陶瓷基板(Direct Bonded CopperCeramic Substrate)技術的提升。
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(一)DBC與AMB工藝的區別
所謂的DBC技術,是指在在含氧的氮氣中以1063℃左右的高溫加熱,氧化鋁或氮化鋁陶瓷表面直接焊接上一層銅箔。其基本原理是:利用了銅與氧在燒結時形成的銅氧共晶液相,潤濕相互接觸的兩個材料表面,即銅箔表面和陶瓷表面,同時還與氧化鋁反應生成CuAlO2、Cu(AlO2)2等復合氧化物,充當共晶釬焊用的焊料,實現銅箔與陶瓷的牢固結合。氮化鋁是一種非氧化物陶瓷,敷接銅箔的關鍵是使其表面形成氧化物過渡層,然后通過上述過渡層與Cu箔敷合實現AlN與Cu箔的敷合。
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AMB活性焊銅工藝是DBC工藝技術的進一步發展,它是利用釬料中含有的少量活性元素與陶瓷反應生成能被液態釬料潤濕的反應層,從而實現陶瓷與金屬接合的一種方法。先將陶瓷表面印刷活性金屬焊料而后與無氧銅裝夾后在真空釬焊爐中高溫焊接,覆接完畢基板采用類似于PCB板的濕法刻蝕工藝在表面制作電路,最后表面鍍覆制備出性能可靠的產品。
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AMB基板是靠陶瓷與活性金屬焊膏在高溫下進行化學反應來實現結合,因此其結合強度更高,可靠性更好。但是由于該方法成本較高、合適的焊料較少、焊料對于焊接的可靠性影響較大。
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以上兩段說明了,AMB與DBC的區別,關鍵點是,AMB工藝中,陶瓷表面印刷了活性金屬焊料,焊接界面強度高,可靠性更好。
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DBC技術僅適用于氧化物陶瓷,例如氧化鋁(Al2O3)和氧化鋯摻雜氧化鋁(也稱為HPS)。非氧化物陶瓷必須先氧化,然后才能通過DBC技術與銅鍵合。氮化鋁(AlN)可制成DBC或AMB基板,而氮化硅(Si3N4)僅能用作AMB基板。
(二)AMB覆銅板三種材料
1 AMB氧化鋁基板
相對地,氧化鋁板材來源廣泛、成本最低,是性價比最高的AMB陶瓷基板,工藝最為成熟。但由于氧化鋁陶瓷的熱導率低、散熱能力有限,AMB氧化鋁基板多用于功率密度不高且對可靠性沒有嚴格要求的領域。
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2 AMB氮化鋁基氮化鋁板
AMB基板具有較高的散熱能力,從而更適用于一些高功率、大電流的工作環境。但是由于機械強度相對較低,氮化鋁AMB覆銅基板的高低溫循環沖擊壽命有限,從而限制了其應用范圍。氮化鋁AMB基板具有較高的散熱能力,從而更適用于一些高功率、大電流的工作環境。但是由于機械強度相對較低,氮化鋁AMB覆銅基板的高低溫循環沖擊壽命有限,從而限制了其應用范圍。
3 AMB氮化硅基板
氮化硅陶瓷,具有 α-Si3N4和β-Si3N4兩種晶型,其中α 相為非穩定相,在高溫下易轉化為穩定的 β 相。高導熱氮化硅陶瓷內 β 相的含量一般大于40%。憑借氮化硅陶瓷的優異特性,AMB氮化硅基板有著優異的耐高溫性能、抗腐蝕性和抗氧化性。
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(三)AMB氮化硅基板優勢
1 AMB氮化硅基板具有高熱導率。
一方面,AMB氮化硅基板具有較高的熱導率(>90W/mK),厚銅層(達800μm)還具有較高熱容量以及傳熱性。因此,對于對高可靠性、散熱以及局部放電有要求的汽車、風力渦輪機、牽引系統和高壓直流傳動裝置等來說,AMB氮化硅基板可謂其首選的基板材料。
另一方面,活性金屬釬焊技術,可將非常厚的銅金屬(厚度可達0.8mm)焊接到相對較薄的氮化硅陶瓷上。因此,載流能力較高,而且傳熱性也非常好。客戶可自定義產品布局,這一點類似于PCB電路板。
2 AMB氮化硅基板具有低熱膨脹系數。
氮化硅陶瓷的熱膨脹系數(2.4 ppm/K)較小,與硅芯片(4 ppm/K)接近,具有良好的熱匹配性。因此,AMB氮化硅基板,非常適用于裸芯片的可靠封裝,封裝后的組件不容易在產品的生命周期中失效。
(四)各種陶瓷基板工藝和材料選擇的依據
陶瓷是一種具有化學惰性的物質,并且耐腐蝕、耐濕氣和耐高溫,因此比在腐蝕性環境中會降解的有機電介質更受歡迎。在設計新基板時,電氣、熱力和機械性能同等重要。介電強度是滿足隔熱要求的重要影響因素,需要根據目標應用的標準、規范和規定進行設置。熱導率太低不利于芯片與周圍環境的熱傳導。當基板承受熱機械應力時,其彎曲強度和斷裂韌性對延長使用壽命有重要作用。
如果陶瓷基板在功率半導體器件中應用,首先要計算散熱量。然后,根據芯片和環境溫度,計算出所需的基板熱阻。但是,銅和陶瓷的組合不一定都能達到所需的熱阻。一方面,隔離電壓決定了陶瓷的最小厚度。另一方面,銅與陶瓷的厚度比對可靠性有很大影響。最后,適用的標準組合將十分有限。
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雖然陶瓷覆銅板工藝類型和基材都有多種組合,具體應用的時候,要結合電氣,熱力,機械性能,成本,可靠性,尺寸厚度綜合來考慮。
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(五)AMB陶瓷基板主要廠商
國外主要有:賀利氏、日本Ferrotec、日本DOWA、日本NGK、日本京瓷、羅杰斯;國內廠商,據艾邦陶瓷基板群統計有以下:
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上海富樂華 |
比亞迪 |
上海鎧琪 |
深圳芯舟 |
浙江德匯 |
無錫天楊 |
浙江精瓷半導體有限責任公司 |
江西昊光 |
湖南艾普德 |
豐鵬電子 |
合肥圣達 |
淄博宋瓷 |
南京中江 |
北京漠石科技有限公司 |
南通威斯派爾半導體技術有限公司 |
原文始發于微信公眾號(艾邦陶瓷展):什么是AMB直接覆銅陶瓷基板?國內廠商大全
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