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2022 年 3 月 28 日,昭和電工(SDK)宣布已開始量產(chǎn)直徑 6 英寸 (150 mm) 的碳化硅單晶晶片 (SiC 晶片),用作 SiC 外延片的材料,用于加工和安裝到 SiC 基功率半導體(SiC 功率半導體)中。
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昭和電工開始量產(chǎn) 6 英寸 SiC 晶圓
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SiC功率半導體具有優(yōu)異的耐熱性和高耐壓性,遠優(yōu)于目前功率半導體主流的傳統(tǒng)硅基功率半導體。SiC功率半導體有助于提高功率模塊的能源效率和小型化。因此,各個領域?qū)?SiC 功率半導體的需求正在迅速增加,特別是用于 xEV、軌道車輛和工業(yè)設備的功率半導體。
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SDK作為獨立的SiC外延片供應商,市場占有率全球第一,一直為功率器件制造商提供極佳的 SiC外延片。因此,SDK 的 SiC 外延片受到日本國內(nèi)外功率器件制造商的高度評價。
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SDK一直在考慮內(nèi)部生產(chǎn)作為SiC外延片主要材料的SiC晶片,旨在提高SiC外延片質(zhì)量并為其建立穩(wěn)定的供應體系。2010年至2015年,SDK參加了由經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省和新能源工業(yè)技術開發(fā)機構(NEDO)主辦并委托的“實現(xiàn)低碳排放社會的新型半導體電力電子項目”,作為“未來電力電子技術研發(fā)合作伙伴?”的成員。此外,SDK于2018年收購了新日鐵住金集團(現(xiàn)新日鐵集團)的SiC晶圓相關資產(chǎn),并從那時起一直在開發(fā)SiC 晶圓的量產(chǎn)技術。
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這一次,SDK 決定開始內(nèi)部量產(chǎn) 6 英寸 SiC 晶圓,因為已經(jīng)有多家客戶采用了 SDK 的 SiC 外延片,該晶圓由其內(nèi)部生產(chǎn)的 6 英寸 SiC 晶圓制成。另一方面,SDK 將繼續(xù)向合作伙伴采購 SiC 晶圓,以應對功率半導體領域?qū)?SiC 外延片快速增長的需求。因此,SDK 將多元化 SiC 晶圓的來源,從而建立穩(wěn)定的 SiC 外延片供應鏈。

原文始發(fā)于微信公眾號(艾邦半導體網(wǎng)):昭和電工開始量產(chǎn) 6 英寸 SiC 晶圓

作者 li, meiyong

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