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一、DSC 技術介紹
DSC(Direct Sputtering Ceramic):即使用高離化、高沉積效率的新型持續高功率磁控濺射技術(C-HPMS)直接在陶瓷基板表面沉積一定厚度的金屬導電層,替代DPC工藝,實現高結合強度和綠色生產!
核心技術與優勢:
1、高強度輝光放電——離子活化界面、結合強度>10N/mm2;
2、超大功率濺射技術——高沉積效率,無需電鍍加厚;
3、金屬層生長控制技術——膜層致密,平整,電導率高;
4、全真空連續線全自動裝備——綠色環保,生產效率高。
二、關鍵核心技術:持續高功率磁控濺射技術(C-HPMS)
陶瓷基板金屬化有了新技術:DSC!

相比于常規磁控濺射、高功率脈沖磁控濺射HiPIMS、電弧離子鍍,持續高強度磁控濺射(C-HPMS)采用單原子濺射,涂層光滑致密,電離度高,且持續濺射,占空比高,沉積效率高。

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三、生產設備
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1.?單體機(適用于復雜形狀工件和小批量生產)

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2. 全自動連續生產線(適用于標準板和大批量生產)
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四、應用領域
可應用于各種陶瓷封裝基板,替代DPC中的電鍍。大到飛機、高鐵、光伏、風電,小到5G基站天線、新能源汽車、機器人、LED路燈均用到IGBT大功率模塊,其工作頻率很高,尤其是集成度很高的單片功率系統。不管是絕緣柵雙極晶體管(IGBT)還是DC/DC大功率模塊,陶瓷電路基板都是主要的核心組件之一!?

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五、技術優勢

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1.??鍍層表面光滑、平整、粗糙度低

 

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2.?鍍層截面致密、界面平整

 

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制備的金屬層晶粒細?。?0-50nm),遠低于電鍍晶粒尺寸(0.5-2μm);界面平整、整潔,結合緊密;截面晶粒排列緊密,無雜質,致密度和純度遠高于電鍍。

3.?結合強度高

 

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4.?深孔填覆能力強

 

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5. 電導率高

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資料來源:真空薄膜技術與裝備(后浪實驗室)

聯系方式:wuzz@pku.edu.cn

 

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投稿郵箱:001@aibang.com

 

原文始發于微信公眾號(艾邦陶瓷展):陶瓷基板金屬化有了新技術:DSC!

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作者 li, meiyong

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