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住友金屬礦山株式會社的全資子公司SICOXS決定新建8英寸鍵合SiC基板開發線。該公司旗下大口電子株式會社內已設立開發線,計劃于2024年3月竣工。此外,公司將根據不斷增長的需求加強生產線,力爭到 2025 年實現月產 10,000 片(6 英寸等效)的目標,包括現有的 6 英寸鍵合 SiC 基板量產示范線。

 

日本SICOXS新建8英寸SiC基板開發線

 

SiC是一種用于功率半導體的半導體材料,主要用于功率控制應用。與傳統的硅相比,它可以處理高電壓,并且可以顯著降低能量損失,因此,特別是近年來,它具有混合動力汽車和電動汽車等驅動控制裝置所需的大容量范圍(大電流和高耐壓)。作為可以支持整個裝置的小型化和電動汽車的續航里程提高的優秀材料,引起廣泛關注。SiC功率器件市場正在迅速擴大,預計到2025年將增長到3500億日元左右,是2021年的5倍。

 

SICOXS制造并銷售的鍵合SiC基板(商品名"SiCkrest?")通過應用獨特的鍵合技術形成兩層晶圓,實現了性能和成本并重的產品。通過在低電阻多晶 SiC 支撐襯底上薄層層壓高質量的單晶,保持了單晶 SiC 的特性,整個襯底具有低電阻和高強度。

 

日本SICOXS新建8英寸SiC基板開發線

 

此外,由于可以從一個稀有且昂貴的單晶基板制造到 50 個或更多的層壓基板,可以靈活地滿足對 SiC 基板快速增長的需求,并為減輕環境負擔做出貢獻。

 

SICOXS從 2017 年開始建設 6 英寸 SiCkrest? 的量產示范線,并正在向部分客戶銷售,隨著這條 8 英寸開發線的推出,可以快速滿足客戶對大尺寸的需求。

 

原文始發于微信公眾號(艾邦半導體網):日本SICOXS新建8英寸SiC基板開發線

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