近日，微導納米交付的全球首條AEP?原子層沉積技術 GW級TOPCon整線項目取得量產效率平均25%的突破性進展，為N型TOPCon電池產業化的進一步提速再添新動能，這也標志著光伏產業迎來了技術升級的關鍵時期。
對光伏創新技術的追求與堅持，讓微導納米始終身處行業新技術產業化應用的領先位置。早在2019年，微導納米創新研制出祝融系列管式PEALD系統，前瞻性地以AEP?（ALD Enabled Photovoltaics）技術為核心，提出了TOPCon電池的全新工藝路線。2021年4月，微導納米與尚德電力就2GW TOPCon整線項目簽訂合作協議，攜手打造全球首條GW級以原子層沉積技術為核心的TOPCon整線，可兼容182 mm及210 mm 硅片電池。微導納米九大步驟、四大類設備，助力提供高效電池TOPCon技術量產的完美解決方案。針對TOPCon電池正面鈍化層、背面隧穿層和原位摻雜多晶硅層等關鍵薄膜工藝技術，微導納米采用市場占有率領先的高產能批量型熱ALD設備，搭載行業創新的PEALD二合一技術（能夠在同一臺設備中完成兩種薄膜的制備），除了能提高薄膜質量以提供更好的鈍化效果之外，還有效降低了設備投資與生產成本。目前，TOPCon已成為量產電池工藝中轉換效率最高、成本最經濟的高效光伏電池工藝之一，各大光伏頭部企業爭相布局，而ALD技術正是實現高效電池TOPCon轉換效率突破的核心技術。“時間證明選擇”，從首臺設備入廠到近日突破25%的平均量產效率，并達到日產能30萬片以上，彰顯了微導的創新實力。能交出這樣一份亮眼的產線驗證“成績單” ，被行業與市場所關注，背后是微導團隊與客戶精誠合作、迎難而上，經歷了無數個技術攻關的晝夜，更是前期對TOPCon技術研發及生產工藝的豐富積累，為此次實現先進電池技術的提升與超越奠定了堅實的基礎。來源：微導納米
原文始發于微信公眾號（光伏產業通）：微導納米AEP?技術實現TOPCon整線效率25%！
