技術(shù)雙核:i-SE技術(shù)和ut-polySi技術(shù)?
據(jù)一道新能首席技術(shù)官宋登元博士介紹,從2019年第1條TOPCon研發(fā)和生產(chǎn)線建立,一道新能持續(xù)加大在N型技術(shù)領(lǐng)域科技投入力度,持續(xù)引領(lǐng)N型技術(shù)發(fā)展,已經(jīng)研發(fā)成功三代技術(shù)路線。
此次發(fā)布的TOPCon3.0是在2.0基礎(chǔ)上的全面升級(jí)。
2.0技術(shù)是以多主柵16BB技術(shù)和超高發(fā)射極方塊電阻的為技術(shù)特征,背面通過SiOx/摻雜PolySi消除金屬與硅接觸復(fù)合,正面通過16BB多主柵與超細(xì)金屬柵線疊加超高發(fā)射極方塊電阻,增強(qiáng)了鈍化效果,大幅降低了表面的光反射,提升了太陽電池效率。
一道新能DAON TOPCon電池技術(shù)路線
然而進(jìn)一步提升效率最大的瓶頸是提升TOPCon電池前表面短波長光譜的利用率和背表面長波光譜的利用率。
一道新能通過多年的技術(shù)積累,研發(fā)成功了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高能量激光i-SE(industry-selected emitter)產(chǎn)業(yè)化技術(shù),有效的降低前表面光生載流子的復(fù)合,提升短波長光譜的利用率;
而背面超薄ut-polySi(Ultrathin Poly Si)技術(shù)能有效的降低背面多晶硅層對(duì)長波長光譜的寄生吸收,大幅提升長波長光譜的利用率,這兩種技術(shù)完美的結(jié)合攻克了TOPCon太陽電池效率提升的瓶頸,使短波長和長波長光量子效率分別提升了40.6%和15.3%,電池效率平均提升超過25.2%。
TOPCon3.0光量子效率的提升
電池正面i-SE的核心是實(shí)現(xiàn)金屬柵線下面的局域的精密擴(kuò)散,形成符合余誤差函數(shù)的雜質(zhì)分布,這涉及到在大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)條件下的激光光斑的塑形技術(shù)、焦點(diǎn)控制技術(shù)、多物理場(chǎng)耦合技術(shù)以及硼雜質(zhì)的源的沉積技術(shù)。
一道新能通過高密度激光,精確控制焦點(diǎn)在硅片處的能量場(chǎng)分布和溫度場(chǎng)分布,通過精密擴(kuò)散形成了與激光能量分布一致的高濃度摻雜區(qū)。
電池背面超薄ut-polySi 硅技術(shù)的核心是沉積超薄的高質(zhì)量多晶硅薄膜,同時(shí)在多晶硅薄膜中摻入少量的雜質(zhì)原子。
一方面薄的多晶硅可以降低紅外光的寄生吸收,提升紅外光的利用率,另一方面摻入少量的雜質(zhì)原子能夠提升SiOx/Poly-Si鈍化接觸性能,也能進(jìn)一步降低對(duì)到達(dá)電池背面長波長光的吸收。
TOPCon3.0使用低壓化學(xué)氣象沉積(LPCVD)超薄的高質(zhì)量多晶硅薄膜,這是基于熱分解的多晶硅薄膜生長技術(shù),在所有的多晶硅生長方法中(PECVD、PVD等)具有最高的多晶硅質(zhì)量。
一道新能TOCon3.0核心技術(shù)
來源:一道新能
原文始發(fā)于微信公眾號(hào)(光伏產(chǎn)業(yè)通):一道新能TOCon3.0核心電池技術(shù)??