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什么叫TOPCon電池?

TOPCon電池是光伏晶硅電池的一種,近年來,由于其高轉換效率、低衰減性能、高量產性價比等明顯優勢,逐步被行業企業采納。
TOPCon電池理論極限效率高達28.7%,是最接近晶體硅太陽電池理論極限效率(29.43%)的技術,遠高于PERC(24.5%),具有非常大的研發潛力。
2023年作為TOPCon技術爆發的一年,市占率有望占比超過25%。
N型TOPCon電池技術

?電池技術市占率預估

從時間上來看,TOPCon電池技術,最早是由德國Fraunhofer太陽能研究所在2014年提出的一種新型鈍化接觸太陽能電池。
從結構上來看,TOPCon是一種基于選擇性載流子原理的隧穿氧化層鈍化接觸(Tunnel Oxide Passivated Contact)太陽能電池技術,其電池結構為N型硅襯底電池,在電池背面制備一層超薄氧化硅,然后再沉積一層摻雜硅薄層,二者共同形成了鈍化接觸結構,有效降低表面復合和金屬接觸復合。
N型TOPCon電池技術

?TOPCon電池結構簡圖

TOPCon電池工藝

相比于單晶PERC工序,TOPCon電池生產工序要多出2~3個步驟,分別是沉積隧穿氧化層(超薄SiO2,1~2nm)、沉積本征多晶硅鈍化層(60~100nm)、磷注入。
N型TOPCon電池技術

?PERC和TOPCon常規工藝對比

TOPCon主要工序及作用

1. 清洗制絨
① 目的
硅片切割后其邊緣有損傷,硅的晶格結構被破壞、表面復合嚴重,清洗制絨主要目的在于去除表面損傷并形成表面金字塔陷光結構、光線照射在硅片表面通過多次折射,達到減少反射率的目的。
2. 硼擴散工序
① 目的
主要作用是制備 PN 結,由于硼在硅中的固溶度低,因此需要高溫和更長的時間進行擴散。同時,擴散源的選擇對生產過程也會有影響,氯化物腐蝕性較強,溴化物黏性大,清洗過程繁瑣、增加運維費用。
N型TOPCon電池技術

?擴散工藝示意圖

硼擴散通常在較高的溫度下完成-超出1000℃,并且和磷擴散所需的102min的循環周期相比,硼擴散的循環時間為150min。
②?原理
N型TOPCon電池技術

?擴散工藝化學反應

在爐管內反應生成的氣態HCl和H2O會在N2的攜帶下在爐管內均勻分布,H2O還會與BBr3和O2反應生成B2O3反應生成氣態的HBO2,HBO2在高溫下也會發生分解,生成B2O3,可以實現B2O3在太陽能電池片表面上的均勻分布;
另一方面,H2O還會與爐管內沉積的B2O3發生反應,這樣即避免了B2O3在擴散爐管壁的沉積,延長了石英器件的使用壽命,同時增加有效的硼源;
HCl還可以與太陽能電池片表面及爐管內的金屬雜質反應,生成氣態的金屬氯化物,隨尾氣排出,可以避免金屬雜質在高溫過程中擴散入太陽能電池片內部。
3. SE激光摻雜工序
① 目的
形成選擇發射極,主要是在金屬柵線與硅片接觸部位及其附近進行高濃度摻雜,減少前金屬電極與硅片的接觸電阻;而在電極以外的區域進行低濃度摻雜,可以降低擴散層的復合。通過對發射極的優化,增加太陽能電池的輸出電流和電壓,從而增加光電轉化效率。
N型TOPCon電池技術

?TOPCon+SE電池結構

②?激光在TOPCon 流程的所在工序
PERC SE是摻磷,而TOPCon SE是摻硼,由于硼和磷的分離系數不同,磷更容易從二氧化硅向硅中擴散,而硼更容易從硅從二氧化硅中擴散,需要更大的能量才能推進摻雜,而激光能量過大又易造成硅片損傷,因此將硼摻雜進硅的難度更高。
相比于傳統的硼擴散,TOPCon電池疊加SE技術理論上可以實現效率提升0.5%,而在實際量產中可以實現效率提升0.2~0.4%。
4. 刻蝕工序
①?目的
刻蝕的主要作用為去除 BSG 和背結。擴散過程會在硅片表面及周邊均形成擴散層,周邊擴散層容易形成短路,表面擴散層影響后續鈍化,因此需要去除。目前刻蝕主要采用濕法,先在鏈式設備中去除背面與周邊擴散層,之后處理正面。
5. 制備隧穿氧化層與多晶硅層
① 目的
背面沉積 1-2nm 隧穿氧化層,之后沉積 60-100nm 多晶硅層形成鈍化結構。TOPCon 鈍化層制備方式較多,主要分為 LPCVD、PECVD、PVD 路線等,目前以 LPCVD 為主,但繞鍍嚴重,PECVD綜合性能具備較強潛力。
6. 制備背面減反射膜
① 目的
在電池背面制備減反射鈍化膜層增加對光的吸收,同時,在 SiNx 薄膜形成過程中產生的氫原子對硅片具有鈍化作用。
7. 正面鍍氧化鋁
① 目的
在硅片正面沉積一層氧化鋁膜層,與其他膜層共同形成正面鈍化作用。
8. 制備正面減反射膜
① 目的
正面減反膜與背面作用基本相同,此外,正面沉積的氧化鋁薄膜非常薄,容易在后續電池組件的制作中被破壞,正面 SiNx 對氧化鋁也具有保護作用。
9. 絲網印刷-激光轉印
目前在電池印刷環節,大多還是采用的是絲網印刷。
未來在N型電池的銀漿耗量方向上,激光圖形轉印技術(Pattern Transfer Printing)可能更有優勢。
激光轉印是一種新型的非接觸式的印刷技術,該技術是在特定柔性透光材料上涂覆所需漿料,采用高功率激光束高速圖形化掃描,將漿料從柔性透光材料上轉移至電池表面,形成柵線,制備前后電極。
10. 燒結
通過高溫燒結形成良好的歐姆接觸。
11. 自動分選
對不同轉換效率的電池片進行分檔。

TOPCon電池優勢

TOPCon電池之所以能被廣大企業所采納,其優勢很明顯,具體如下:
1. 高轉換效率
TOPCon目前量產效率最高的廠家效率高達25.2%,當前主流的PERC是23.2%,TOPCon高2個百分點。
預計到2023年下半年,TOPCon可以達到26.8%,PERC的效率在23.5%左右,效率差能達到3.3個百分點。
2. 低衰減率
N 型電池硅片基底摻磷,無硼-氧對形成復合中心對電子捕獲的損失,幾乎無光致衰減。
TOPCon組件首年衰減率約1%(PERC約 2%),首年后年均衰減率約0.4%(PERC約0.45%)。
3. 低溫度系數
在組件端,PERC組件功率溫度系數為-0.34%/℃,而TOPCon組件的功率溫度系數低至-0.30%/℃,使得TOPCon組件在高溫環境下的發電量尤為突出。
4.高雙面率
TOPCon雙面率可達80%+,PERC為70%左右。

大基地項目由于地域遼闊,地面反射率較高(通常可達30%),在大基地項目中使用具備高雙面率的N型組件發電增益更為明顯。

來源:順風光電
END

原文始發于微信公眾號(光伏產業通):N型TOPCon電池技術

作者 li, meiyong

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