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摘要

現代光學系統可能包含大量不同種類的光學元件,如折射透鏡、衍射透鏡、折衍混合透鏡、菲涅爾和漸變折射率透鏡、以及衍射光學元件,比方說擴束器、光束整形器、衍射光束分束器、計算全息、相位板、光柵、自由曲面元件和微透鏡陣列。除此以外還涉及使用光源的不同特性,如相干度、顏色和偏振。

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一個有效的光學建模要求將所有這些類型的元件和光源放在一個軟件平臺,然后進行高精度且快速的仿真模擬。VirutalLab Fusion正是這樣一種軟件平臺。VirtualLab Fusion融合了幾何光學和物理光學的概念和技術,能夠結合不同的麥克斯韋方程算法對系統內各元件進行模擬。VirutalLab Fusion軟件針對不同的應用領域提供了不同的套裝及工具箱配置,允許用戶進行光學系統的分析,衍射光學元件的設計,光分束器的設計,光柵的分析,激光諧振腔的分析、LED光的整形和均勻化以及AR/MR光波導的建模設計和優化。本文將從技術背景和應用案例等方面全面介紹VirtualLab Fusion軟件。

01

簡介

VirtualLab Fusion是德國LightTrans公司以場追跡概念開發出來的一款高速物理光學仿真平臺,其集成了從幾何光學到物理光學、從近似到嚴格的各種麥克斯韋方程求解器,如LPIA(局部平面界面近似)、LLGA(局部線性光柵近似)、RK-BPM(龍格庫塔光束傳輸方法)、TEA(薄元近似)、FMM/RCWA(傅里葉模態發/嚴格耦合波法)等,能夠對如幾何透鏡、自由曲面、衍射透鏡、全息元件、GRIN透鏡以及光柵和Meta-Grating等各類元件進行仿真和分析,以及如Geometric(幾何)、SPW(平面波譜)、Fresnel(菲涅爾)、Far Field(遠場)、Rayleigh Sommerfeld(瑞利索墨菲)等,能夠對各種自由空間傳輸進行計算。

同時,VirtualLab Fusion還提供了三種傅里變換方法,包括FFT(快速傅里葉變換)、Semi-Analytical ?FT(半解析傅里葉變換)以及Pointwise FT(逐點傅里葉變換)。對于包含各類光學元件的整個復雜的光學系統,通過非序列追跡功能,將所需的求解器連接起來,并通過選擇合適的傅里葉變換方法,以在空間域或者空間頻率域進行光場傳輸計算,從而能夠在保證計算精度的情況下,更快的完成整個系統的仿真和分析,以實現高速物理光學仿真。在整個仿真過程中,會考慮各種物理光學效應,如干涉、衍射、像差、偏振、相干以及矢量效應等。

作為全球唯一一款基于場追跡概念來開發的高速物理光學仿真軟件,VirtualLab Fusion為用戶提供了光學建模和仿真所需的各種功能和特性:

  • 即能夠進行光線追跡,又能夠進行光場追跡;
  • 能夠進行序列和非序列的建模和仿真以及分析;
  • 提供了傅里葉模態法(FMM),能夠對各類光柵,如1D和2D周期性光柵(包含界面和介質光柵),進行嚴格的電磁場分析;
  • 基于迭代傅里葉變換算法,設計和優化各類相位型衍射光學元件,如整形器、分束器以及擴散器等,并且能夠針對相位衍射元件進行結構設計,導出加工所需的格式,如GDSII、Bitmap以及ASCII、STL等;
  • 參數掃描和參數優化,可對系統進行公差分析以及優化;
  • 多軟件接口,如Macleod、LASCAD、ZEMAX、JCMsuite等;
  • 跨平臺聯合仿真和優化,如MATLAB、Python等;
  • 基于C#語言進行二次開發;
  • 可與集成多種局域、全局優化算法,靈活支持多種場景下的優化任務的優化軟件VirtualLab Optimization搭配使用,進行光學系統優化;
  • 支持分布式計算,進一步提高計算速度。

02

技術背景

2.1 場追跡技術

VirtualLab Fusion通過連接不同的求解器來實現快速物理光學系統建模,而不是將一個通用求解器應用于整個系統。如圖1在結構光照明顯微鏡的模型中,我們在κ-域產生電場VirtualLab Fusion 高速物理光學建模設計仿真技術,利用平面波譜(SPW)算法可以精確得到在κ-域中的自由空間傳播算子VirtualLab Fusion 高速物理光學建模設計仿真技術來傳輸該電場。

當場從光柵衍射時,我們用VirtualLab Fusion 高速物理光學建模設計仿真技術算子追跡它,這是由κ-域的FMM算法嚴格計算的。然后再通過自由空間算子進行傳播。我們對特定的應用SIM做了一個假設,假設進入透鏡的場在幾何區域。因此,幾何傅里葉逆變換可用于加速整個建模過程。然后,應用LPIA在空間域通過透鏡的曲面界面傳播場。然后進行幾何傅里葉變換,得到κ-域中的場。我們重復自由空間傳播、幾何傅里葉逆變換、LPIA和幾何傅里葉變換,得到κ-域中樣品平面上的場。然后進行嚴格的傅里葉逆變換,從而精確地建模來自孔徑的衍射,在不考慮來自孔徑的衍射的情況下,可以再次應用幾何傅里葉逆變換。如圖2所示的整個建模過程可以簡單地在表1中表示1

VirtualLab Fusion 高速物理光學建模設計仿真技術

圖1:結構光照明顯微鏡系統的結構示意圖。準直激光束照亮光柵。然后衍射光束通過一個透鏡,0級次光被掩膜阻擋在后焦平面。然后±1級次通過第二個透鏡傳播,并在第二個透鏡的后焦平面干涉,形成中間像。然后通過由管透鏡和高NA物鏡組成的4f裝置對中間像進行縮小,形成樣品平面上的照明圖案。

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圖2:場追跡示意圖。(ρ,ω)表示算子在空間域中。(κ,ω)表示該算子在κ-域。VirtualLab Fusion 高速物理光學建模設計仿真技術表示自由空間傳播算子。B和VirtualLab Fusion 高速物理光學建模設計仿真技術表示空間域和κ-域的雙向算子。VirtualLab Fusion 高速物理光學建模設計仿真技術VirtualLab Fusion 高速物理光學建模設計仿真技術分別為空間域到κ-域的傅里葉變換和κ-域到空間域的傅里葉逆變換

表1:結構化照明的顯微系統建模步驟

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2.2 自由空間傳輸-傅里葉變換技術

物理光學中使用的大多數基本、嚴格的方法都是在空間頻域中定義的:平面波頻譜(SPW)傳播算子和FMM就是這種情況。但并非所有方法都是如此:其中一些方法(例如LPIA)是在空間域中定義的。眾所周知,這兩個域(即空間域和空間頻域)之間的聯系由傅里葉變換給出:如果我們要在兩個域中定義的相同系統中組合方法,優化傅里葉變換步驟變得至關重要2。傅里葉變換原理參考上圖2。

VirtualLab Fusion中提供了三種不同類型的傅里葉變換算法及對應的傅里葉逆變換,其中包括快速傅里葉變換(FFT),半解析傅里葉變換(SFT)和逐點傅里葉變換(PFT)。快速傅里葉變換(FFT)的引入是朝著更快、更高效的物理光學建模和設計邁出的關鍵一步,然而,由于FFT要求對包裹的相位進行良好采樣,因此我們提出了可專門處理系統中二次相位項,以減少數值采樣,提高計算速度的半解析傅里葉變換(SFT),除此之外,當場分量呈現強波前相位的情況下,計算的數值采樣會急劇增加,我們了解到具有強波前相位的場的傅里葉變換表現出一種行為,可以描述為振幅分布的雙射映射,如圖3,基于此,我們得到了可以使系統擁有更快計算速度的逐點傅里葉變換(PFT)。下圖3展示了基于系統當中不同的NA,三種不同的傅里葉變換方法在數值采樣上的變化對比,可以發現,隨著系統NA增大,FFT和SFT的采樣數急劇增加,意味著對計算資源的要求更高,而PFT可以很好的保持較低的采樣數,從而提高計算速度。

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圖3 隨著系統NA增加,FFT采樣隨之增加,SFT初期采樣增加較慢,但在NA很大時,FFT和SFT采樣都急劇增加,只有PFT采樣始終保持很低,因此在這種情況下,使用PFT可以進行快速建模仿真

2.3 麥克斯韋光場求解器

VirtualLab Fusion中內置了各種不同類型的麥克斯韋求解器,如下圖4所示,包括針對微納結構進行嚴格分析的傅里葉模態法(FMM)和薄元近似(TEA)算法,針對透鏡系統使用局部平面近似算法(LPIA),針對光纖和GRIN透鏡等漸變折射率介質使用龍格庫塔光束傳輸方法(RK-BPM)等多種快速有效的麥克斯韋求解算法,本節我們只對部分算法進行簡要介紹。

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圖4 VirtualLab Fusion中內置的各種不同類型的麥克斯韋求解器(左);及針對不同類型元件使用的特定求解器分布示意圖(右)

2.3.1 局部平面近似(LPIA)

LPIA求解器以局部地、點的方式工作在空間域(x域)。其求解原理為:表面上的輸入場被視為局部平面波(LPWs)的組合,每個局部平面波所看到的表面部分被認為是平面界面(局部),并且LPW與局部平面界面的相互作用可以用菲涅耳(或層)矩陣來模擬。在曲面上的任意位置,應用近似的局部邊界條件,假定LPW與局部平面界面相互作用。因此,菲涅耳矩陣(或涂層矩陣)可用于連接輸入和輸出場3

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圖5 局部平面近似算法&LPIA算法的驗證

2.3.2 傅里葉模態法(FMM)

傅里葉模態法(FMM)可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,您可以設置光柵系統,執行嚴格分析,并以不同的形式呈現結果(如光柵級次收集、單值...)。與參數運行結合,您也可以掃描給定的參數空間,研究不同配置下指定結構的性能。對于參數運行結果的評估,幾個評估工具能夠讓您對您的光學裝置有最好的了解。

FMM是一個發展很好的嚴格的麥克斯韋方程求解器。結合S-矩陣,可以精確地模擬電場在任意微納結構上的傳播。在場追跡的概念中,它可以表示為:

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其中VirtualLab Fusion 高速物理光學建模設計仿真技術是反射場κ-域中的雙向算子。如果我們單獨考慮衍射級數,這意味著輸出場的一個k被認為是輸入場的一個k’。因此,公式6可以根據每個級次寫為:

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其中j表示第Jth階。類似于LPIA的情況,輸入場和輸出場又有了映射關系。如果我們只考慮感興趣的階數,對所有階數的積分就變成了感興趣的階數的和。這是快速物理光學能夠被執行的原因之一。通過將任意結構切片成層,可以通過帶有 S-martix的 FMM 獲得VirtualLab Fusion 高速物理光學建模設計仿真技術-算子。在場處于均質介質的反射情況下,可以計算為:

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VirtualLab Fusion 高速物理光學建模設計仿真技術上標(L)表示層數。在傳輸的情況下,VirtualLab Fusion 高速物理光學建模設計仿真技術-算子可以使用類似方法計算得到1。

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圖6 樣品平面上的結構化照明模型。(a)偏振角度α=90°的能量密度。(b)偏振角度α=0°,30°,60°,90°情況下的能量密度分別以藍色、紅色、綠色、橙色展示,同時對應對比度c=0.60,0.71,0.88,0.99。

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圖7 中間像平面的衍射能量密度分布(a)數值模擬結果(b)實驗結果

03

應用領域及案例展示

3.1 應用領域:

VirtualLab Fusion根據不同應用方向可分為五個應用領域,包括:束整形、光學測量、成像系統、激光系統以及虛擬和混合現實方面,如下是各個應用領域的具體應用和案例圖示:

  • 光束整形

VirtualLab Fusion針對激光和LED光源可實現整形,分束和均勻化以完成照明系統的設計和仿真任務。該軟件包的重點是透鏡陣列,衍射光學元件和由光柵,反射鏡和棱鏡組成的晶胞陣列的使用。對所設計的元件,加工數據可以以幾種格式導出,包括STL和GDSII;同時支持與SLM交互。高速物理光學仿真和優化算法保證了這些光學元件的設計成為可能。該建模考慮了衍射、干涉、偏振度和相干度。

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通過使用VirtualLab Fusion中的迭代傅里葉變換算法(IFTA),可以為特定的目標模式(如本例中的預期光標記)高效靈活地設計定制分束器。

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研究了透鏡像差對光束整形系統性能的影響。

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自由曲面光束整形示意圖

  • 光學測量

光學在整個歷史上提供了不可思議的精確測量手段,它是發揮科學技術潛力的重要一環。測量系統的分析不可避免地需要考慮物理光學效應(相干性,偏振態,干涉,衍射等),以得到現實的,可靠的結果。VirtualLab Fusion可以利用高速物理光學理論,為這種分析提供必要的工具,此外,它還有助于快速的模擬。

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掃描干涉法是一種測量表面高度的技術。利用白光光源的低相干性,在氙燈的配合下,建立了邁克爾遜干涉儀,用于測量前表面平滑變化的試樣。

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微結構晶圓檢測光學系統——高NA晶圓檢測系統的快速物理光學模擬,該系統通常用于半導體行業檢測晶圓上的缺陷

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用于光學測試的菲索干涉儀——利用非序貫場跟蹤技術,建立了菲索干涉儀,顯示了來自多個不同測試表面的干涉條紋

  • 成像系統

通過高速物理光學,實現透鏡系統建模。提供對包含鬼像和部分相干性的系統的可靠的PSF/MTF評估。系統中可以包含光柵,全息光學元件以及衍射透鏡。成像系統是光學上有歷史意義的基石之一。它們的應用是多種多樣的,從而基于此提出了需求:系統中包含衍射元件與傳統透鏡,對先進PSFs/MTFs的計算,考慮系統中的多次反射。

VirtualLab Fusion將高速物理光學建模,嵌入在一個用戶友好的界面,幫助你成功地對光學系統中上述所有進行仿真。

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高數值顯微鏡系統。其中聚焦平面放置線性光柵

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隨著光柵周期的變小,可以分析顯微鏡系統分辨率的大小

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利用VirtualLab Fusion中的非連續射線和場場追跡技術,充分考慮了兩個鏡子之間的多次反射,對Herrig Schiefspiegler望遠鏡進行了建模,并研究了不同入射角下的圖像質量

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三維光線追跡示意圖

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利用非序列場追跡在目標平面上獲得的鬼像現象

  • 激光系統

高速物理光學可以有效地實現對激光光源、衍射、干涉、偏振和非線性效應的建模,并且可以使用任意感興趣的光束參數。

激光系統可模擬單模以及多模、連續波和脈沖激光光源。可設計包含透鏡、反射鏡、衍射光學元件、光柵以及全息圖在內的激光系統。在這樣一個擁有直觀用戶界面的單獨軟件中,VirtualLab Fusion提供了高速準確的場追跡和光線追跡引擎。

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使用非球面透鏡的2D激光掃描系統

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激光晶體中的應力誘導雙折射:通過觀察輸出場隨應力強度的變化,研究了YAG晶體中應力誘導的雙折射現象。

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為了充分表征超短脈沖的聚焦行為,必須考慮不同的電磁特性。這包括空間分布,時間、光譜分布、矢量效應,以及所有這些之間可能的耦合。以高NA拋物鏡聚焦10-fs脈沖為例,在VirtualLab Fusion中模擬了聚焦過程,研究了聚焦過程的時空行為

  • 虛擬和混合現實

針對VR,AR以及MR應用,VirtualLab Fusion為用戶提供了多通道波導成像系統的非序列建模技術,建模過程中能夠對波前差、能流以及PSF/MTF進行評估。

在現代顯示技術中,成像通道(換句話說,即從成像面板到人眼的光路)必須緊湊,同時其也在面板和人眼之間引入一個橫向偏移。此外,我們一般需要多路傳輸進入許多成像通道,從而為不同位置處的人眼提供圖像。為此,包含光柵的波導受到了越來越多的關注。VirtualLab Fusion能夠實現非序列光線追跡和場追跡建模,并設計具有以下特性的器件:包括光柵效應的電磁感應、自動探測通過波導所有相關的光路,甚至可以對考慮了通道的部分相干效應的任意位置處的人眼計算多通道輸入時的PSF/MTF。

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具有“蝴蝶瞳孔擴張”的光導系統

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眼盒內光分布的橫向均勻性評估

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近眼顯示系統的結構:使用光波導進行導光,使用光柵進行光的耦合以及多通道擴展。左圖為結構展示;右圖為VirtualLab Fusion中的建模模型

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光線在近眼顯示系統中的非序列傳播以及光柵雜散光造成鬼像

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參考文獻:
  1. R. Shi, N. Janunts, R. Heintzmann, C. Hellmann, and F. Wyrowski ‘Fast-physical Optics Modeling of Microscopy System with Structured Illumination ’, Proc. SPIE 10694, Computational Optics II, 106940I (18 June 2018)
  2. Z. Wang, S. Zhang, O. Baladron-Zorita, C.?Hellmann, and F. Wyrowski?‘Application of the Semi-Analytical Fourier Transform to Electromagnetic Modeling’, Opt. Express 27, 15335-15350 (2019)
  3. 訊技光電《VirtualLab Fusion高速物理光學軟件用戶手冊》

原文始發于微信公眾號(艾邦VR產業資訊):VirtualLab Fusion 高速物理光學建模設計仿真技術

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作者 li, meiyong

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