現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)可能包含大量不同種類的光學(xué)元件,如折射透鏡、衍射透鏡、折衍混合透鏡、菲涅爾和漸變折射率透鏡、以及衍射光學(xué)元件,比方說擴(kuò)束器、光束整形器、衍射光束分束器、計算全息、相位板、光柵、自由曲面元件和微透鏡陣列。除此以外還涉及使用光源的不同特性,如相干度、顏色和偏振。
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一個有效的光學(xué)建模要求將所有這些類型的元件和光源放在一個軟件平臺,然后進(jìn)行高精度且快速的仿真模擬。VirutalLab Fusion正是這樣一種軟件平臺。VirtualLab Fusion融合了幾何光學(xué)和物理光學(xué)的概念和技術(shù),能夠結(jié)合不同的麥克斯韋方程算法對系統(tǒng)內(nèi)各元件進(jìn)行模擬。VirutalLab Fusion軟件針對不同的應(yīng)用領(lǐng)域提供了不同的套裝及工具箱配置,允許用戶進(jìn)行光學(xué)系統(tǒng)的分析,衍射光學(xué)元件的設(shè)計,光分束器的設(shè)計,光柵的分析,激光諧振腔的分析、LED光的整形和均勻化以及AR/MR光波導(dǎo)的建模設(shè)計和優(yōu)化。本文將從技術(shù)背景和應(yīng)用案例等方面全面介紹VirtualLab Fusion軟件。
01
簡介
VirtualLab Fusion是德國LightTrans公司以場追跡概念開發(fā)出來的一款高速物理光學(xué)仿真平臺,其集成了從幾何光學(xué)到物理光學(xué)、從近似到嚴(yán)格的各種麥克斯韋方程求解器,如LPIA(局部平面界面近似)、LLGA(局部線性光柵近似)、RK-BPM(龍格庫塔光束傳輸方法)、TEA(薄元近似)、FMM/RCWA(傅里葉模態(tài)發(fā)/嚴(yán)格耦合波法)等,能夠?qū)θ鐜缀瓮哥R、自由曲面、衍射透鏡、全息元件、GRIN透鏡以及光柵和Meta-Grating等各類元件進(jìn)行仿真和分析,以及如Geometric(幾何)、SPW(平面波譜)、Fresnel(菲涅爾)、Far Field(遠(yuǎn)場)、Rayleigh Sommerfeld(瑞利索墨菲)等,能夠?qū)Ω鞣N自由空間傳輸進(jìn)行計算。
同時,VirtualLab Fusion還提供了三種傅里變換方法,包括FFT(快速傅里葉變換)、Semi-Analytical ?FT(半解析傅里葉變換)以及Pointwise FT(逐點(diǎn)傅里葉變換)。對于包含各類光學(xué)元件的整個復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng),通過非序列追跡功能,將所需的求解器連接起來,并通過選擇合適的傅里葉變換方法,以在空間域或者空間頻率域進(jìn)行光場傳輸計算,從而能夠在保證計算精度的情況下,更快的完成整個系統(tǒng)的仿真和分析,以實(shí)現(xiàn)高速物理光學(xué)仿真。在整個仿真過程中,會考慮各種物理光學(xué)效應(yīng),如干涉、衍射、像差、偏振、相干以及矢量效應(yīng)等。
作為全球唯一一款基于場追跡概念來開發(fā)的高速物理光學(xué)仿真軟件,VirtualLab Fusion為用戶提供了光學(xué)建模和仿真所需的各種功能和特性:
即能夠進(jìn)行光線追跡,又能夠進(jìn)行光場追跡; 能夠進(jìn)行序列和非序列的建模和仿真以及分析; 提供了傅里葉模態(tài)法(FMM),能夠?qū)Ω黝惞鈻牛?D和2D周期性光柵(包含界面和介質(zhì)光柵),進(jìn)行嚴(yán)格的電磁場分析; 基于迭代傅里葉變換算法,設(shè)計和優(yōu)化各類相位型衍射光學(xué)元件,如整形器、分束器以及擴(kuò)散器等,并且能夠針對相位衍射元件進(jìn)行結(jié)構(gòu)設(shè)計,導(dǎo)出加工所需的格式,如GDSII、Bitmap以及ASCII、STL等; 參數(shù)掃描和參數(shù)優(yōu)化,可對系統(tǒng)進(jìn)行公差分析以及優(yōu)化; 多軟件接口,如Macleod、LASCAD、ZEMAX、JCMsuite等; 跨平臺聯(lián)合仿真和優(yōu)化,如MATLAB、Python等; 基于C#語言進(jìn)行二次開發(fā); 可與集成多種局域、全局優(yōu)化算法,靈活支持多種場景下的優(yōu)化任務(wù)的優(yōu)化軟件VirtualLab Optimization搭配使用,進(jìn)行光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化; 支持分布式計算,進(jìn)一步提高計算速度。
02
技術(shù)背景
2.1 場追跡技術(shù)
VirtualLab Fusion通過連接不同的求解器來實(shí)現(xiàn)快速物理光學(xué)系統(tǒng)建模,而不是將一個通用求解器應(yīng)用于整個系統(tǒng)。如圖1在結(jié)構(gòu)光照明顯微鏡的模型中,我們在κ-域產(chǎn)生電場,利用平面波譜(SPW)算法可以精確得到在κ-域中的自由空間傳播算子
來傳輸該電場。
當(dāng)場從光柵衍射時,我們用算子追跡它,這是由κ-域的FMM算法嚴(yán)格計算的。然后再通過自由空間算子進(jìn)行傳播。我們對特定的應(yīng)用SIM做了一個假設(shè),假設(shè)進(jìn)入透鏡的場在幾何區(qū)域。因此,幾何傅里葉逆變換可用于加速整個建模過程。然后,應(yīng)用LPIA在空間域通過透鏡的曲面界面?zhèn)鞑觥H缓筮M(jìn)行幾何傅里葉變換,得到κ-域中的場。我們重復(fù)自由空間傳播、幾何傅里葉逆變換、LPIA和幾何傅里葉變換,得到κ-域中樣品平面上的場。然后進(jìn)行嚴(yán)格的傅里葉逆變換,從而精確地建模來自孔徑的衍射,在不考慮來自孔徑的衍射的情況下,可以再次應(yīng)用幾何傅里葉逆變換。如圖2所示的整個建模過程可以簡單地在表1中表示1:

圖1:結(jié)構(gòu)光照明顯微鏡系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。準(zhǔn)直激光束照亮光柵。然后衍射光束通過一個透鏡,0級次光被掩膜阻擋在后焦平面。然后±1級次通過第二個透鏡傳播,并在第二個透鏡的后焦平面干涉,形成中間像。然后通過由管透鏡和高NA物鏡組成的4f裝置對中間像進(jìn)行縮小,形成樣品平面上的照明圖案。
圖2:場追跡示意圖。(ρ,ω)表示算子在空間域中。(κ,ω)表示該算子在κ-域。表示自由空間傳播算子。B和
表示空間域和κ-域的雙向算子。
和
分別為空間域到κ-域的傅里葉變換和κ-域到空間域的傅里葉逆變換
2.2 自由空間傳輸-傅里葉變換技術(shù)
物理光學(xué)中使用的大多數(shù)基本、嚴(yán)格的方法都是在空間頻域中定義的:平面波頻譜(SPW)傳播算子和FMM就是這種情況。但并非所有方法都是如此:其中一些方法(例如LPIA)是在空間域中定義的。眾所周知,這兩個域(即空間域和空間頻域)之間的聯(lián)系由傅里葉變換給出:如果我們要在兩個域中定義的相同系統(tǒng)中組合方法,優(yōu)化傅里葉變換步驟變得至關(guān)重要2。傅里葉變換原理參考上圖2。
VirtualLab Fusion中提供了三種不同類型的傅里葉變換算法及對應(yīng)的傅里葉逆變換,其中包括快速傅里葉變換(FFT),半解析傅里葉變換(SFT)和逐點(diǎn)傅里葉變換(PFT)。快速傅里葉變換(FFT)的引入是朝著更快、更高效的物理光學(xué)建模和設(shè)計邁出的關(guān)鍵一步,然而,由于FFT要求對包裹的相位進(jìn)行良好采樣,因此我們提出了可專門處理系統(tǒng)中二次相位項(xiàng),以減少數(shù)值采樣,提高計算速度的半解析傅里葉變換(SFT),除此之外,當(dāng)場分量呈現(xiàn)強(qiáng)波前相位的情況下,計算的數(shù)值采樣會急劇增加,我們了解到具有強(qiáng)波前相位的場的傅里葉變換表現(xiàn)出一種行為,可以描述為振幅分布的雙射映射,如圖3,基于此,我們得到了可以使系統(tǒng)擁有更快計算速度的逐點(diǎn)傅里葉變換(PFT)。下圖3展示了基于系統(tǒng)當(dāng)中不同的NA,三種不同的傅里葉變換方法在數(shù)值采樣上的變化對比,可以發(fā)現(xiàn),隨著系統(tǒng)NA增大,F(xiàn)FT和SFT的采樣數(shù)急劇增加,意味著對計算資源的要求更高,而PFT可以很好的保持較低的采樣數(shù),從而提高計算速度。
2.3 麥克斯韋光場求解器
VirtualLab Fusion中內(nèi)置了各種不同類型的麥克斯韋求解器,如下圖4所示,包括針對微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行嚴(yán)格分析的傅里葉模態(tài)法(FMM)和薄元近似(TEA)算法,針對透鏡系統(tǒng)使用局部平面近似算法(LPIA),針對光纖和GRIN透鏡等漸變折射率介質(zhì)使用龍格庫塔光束傳輸方法(RK-BPM)等多種快速有效的麥克斯韋求解算法,本節(jié)我們只對部分算法進(jìn)行簡要介紹。

圖4 VirtualLab Fusion中內(nèi)置的各種不同類型的麥克斯韋求解器(左);及針對不同類型元件使用的特定求解器分布示意圖(右)
2.3.1 局部平面近似(LPIA)
LPIA求解器以局部地、點(diǎn)的方式工作在空間域(x域)。其求解原理為:表面上的輸入場被視為局部平面波(LPWs)的組合,每個局部平面波所看到的表面部分被認(rèn)為是平面界面(局部),并且LPW與局部平面界面的相互作用可以用菲涅耳(或?qū)?矩陣來模擬。在曲面上的任意位置,應(yīng)用近似的局部邊界條件,假定LPW與局部平面界面相互作用。因此,菲涅耳矩陣(或涂層矩陣)可用于連接輸入和輸出場3。
圖5 局部平面近似算法&LPIA算法的驗(yàn)證
2.3.2 傅里葉模態(tài)法(FMM)
傅里葉模態(tài)法(FMM)可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,您可以設(shè)置光柵系統(tǒng),執(zhí)行嚴(yán)格分析,并以不同的形式呈現(xiàn)結(jié)果(如光柵級次收集、單值...)。與參數(shù)運(yùn)行結(jié)合,您也可以掃描給定的參數(shù)空間,研究不同配置下指定結(jié)構(gòu)的性能。對于參數(shù)運(yùn)行結(jié)果的評估,幾個評估工具能夠讓您對您的光學(xué)裝置有最好的了解。
FMM是一個發(fā)展很好的嚴(yán)格的麥克斯韋方程求解器。結(jié)合S-矩陣,可以精確地模擬電場在任意微納結(jié)構(gòu)上的傳播。在場追跡的概念中,它可以表示為:

其中是反射場κ-域中的雙向算子。如果我們單獨(dú)考慮衍射級數(shù),這意味著輸出場的一個k被認(rèn)為是輸入場的一個k’。因此,公式6可以根據(jù)每個級次寫為:

其中j表示第Jth階。類似于LPIA的情況,輸入場和輸出場又有了映射關(guān)系。如果我們只考慮感興趣的階數(shù),對所有階數(shù)的積分就變成了感興趣的階數(shù)的和。這是快速物理光學(xué)能夠被執(zhí)行的原因之一。通過將任意結(jié)構(gòu)切片成層,可以通過帶有 S-martix的 FMM 獲得-算子。在場處于均質(zhì)介質(zhì)的反射情況下,可以計算為:

上標(biāo)(L)表示層數(shù)。在傳輸?shù)那闆r下,
-算子可以使用類似方法計算得到1。

圖6 樣品平面上的結(jié)構(gòu)化照明模型。(a)偏振角度α=90°的能量密度。(b)偏振角度α=0°,30°,60°,90°情況下的能量密度分別以藍(lán)色、紅色、綠色、橙色展示,同時對應(yīng)對比度c=0.60,0.71,0.88,0.99。

圖7 中間像平面的衍射能量密度分布(a)數(shù)值模擬結(jié)果(b)實(shí)驗(yàn)結(jié)果
03
應(yīng)用領(lǐng)域及案例展示
3.1 應(yīng)用領(lǐng)域:
VirtualLab Fusion根據(jù)不同應(yīng)用方向可分為五個應(yīng)用領(lǐng)域,包括:光束整形、光學(xué)測量、成像系統(tǒng)、激光系統(tǒng)以及虛擬和混合現(xiàn)實(shí)方面,如下是各個應(yīng)用領(lǐng)域的具體應(yīng)用和案例圖示:
光束整形
VirtualLab Fusion針對激光和LED光源可實(shí)現(xiàn)整形,分束和均勻化以完成照明系統(tǒng)的設(shè)計和仿真任務(wù)。該軟件包的重點(diǎn)是透鏡陣列,衍射光學(xué)元件和由光柵,反射鏡和棱鏡組成的晶胞陣列的使用。對所設(shè)計的元件,加工數(shù)據(jù)可以以幾種格式導(dǎo)出,包括STL和GDSII;同時支持與SLM交互。高速物理光學(xué)仿真和優(yōu)化算法保證了這些光學(xué)元件的設(shè)計成為可能。該建模考慮了衍射、干涉、偏振度和相干度。
通過使用VirtualLab Fusion中的迭代傅里葉變換算法(IFTA),可以為特定的目標(biāo)模式(如本例中的預(yù)期光標(biāo)記)高效靈活地設(shè)計定制分束器。
研究了透鏡像差對光束整形系統(tǒng)性能的影響。
自由曲面光束整形示意圖
光學(xué)測量
光學(xué)在整個歷史上提供了不可思議的精確測量手段,它是發(fā)揮科學(xué)技術(shù)潛力的重要一環(huán)。測量系統(tǒng)的分析不可避免地需要考慮物理光學(xué)效應(yīng)(相干性,偏振態(tài),干涉,衍射等),以得到現(xiàn)實(shí)的,可靠的結(jié)果。VirtualLab Fusion可以利用高速物理光學(xué)理論,為這種分析提供必要的工具,此外,它還有助于快速的模擬。
掃描干涉法是一種測量表面高度的技術(shù)。利用白光光源的低相干性,在氙燈的配合下,建立了邁克爾遜干涉儀,用于測量前表面平滑變化的試樣。
微結(jié)構(gòu)晶圓檢測光學(xué)系統(tǒng)——高NA晶圓檢測系統(tǒng)的快速物理光學(xué)模擬,該系統(tǒng)通常用于半導(dǎo)體行業(yè)檢測晶圓上的缺陷
用于光學(xué)測試的菲索干涉儀——利用非序貫場跟蹤技術(shù),建立了菲索干涉儀,顯示了來自多個不同測試表面的干涉條紋
成像系統(tǒng)
通過高速物理光學(xué),實(shí)現(xiàn)透鏡系統(tǒng)建模。提供對包含鬼像和部分相干性的系統(tǒng)的可靠的PSF/MTF評估。系統(tǒng)中可以包含光柵,全息光學(xué)元件以及衍射透鏡。成像系統(tǒng)是光學(xué)上有歷史意義的基石之一。它們的應(yīng)用是多種多樣的,從而基于此提出了需求:系統(tǒng)中包含衍射元件與傳統(tǒng)透鏡,對先進(jìn)PSFs/MTFs的計算,考慮系統(tǒng)中的多次反射。
VirtualLab Fusion將高速物理光學(xué)建模,嵌入在一個用戶友好的界面,幫助你成功地對光學(xué)系統(tǒng)中上述所有進(jìn)行仿真。
高數(shù)值顯微鏡系統(tǒng)。其中聚焦平面放置線性光柵
隨著光柵周期的變小,可以分析顯微鏡系統(tǒng)分辨率的大小
利用VirtualLab Fusion中的非連續(xù)射線和場場追跡技術(shù),充分考慮了兩個鏡子之間的多次反射,對Herrig Schiefspiegler望遠(yuǎn)鏡進(jìn)行了建模,并研究了不同入射角下的圖像質(zhì)量
三維光線追跡示意圖
利用非序列場追跡在目標(biāo)平面上獲得的鬼像現(xiàn)象
激光系統(tǒng)
高速物理光學(xué)可以有效地實(shí)現(xiàn)對激光光源、衍射、干涉、偏振和非線性效應(yīng)的建模,并且可以使用任意感興趣的光束參數(shù)。
激光系統(tǒng)可模擬單模以及多模、連續(xù)波和脈沖激光光源。可設(shè)計包含透鏡、反射鏡、衍射光學(xué)元件、光柵以及全息圖在內(nèi)的激光系統(tǒng)。在這樣一個擁有直觀用戶界面的單獨(dú)軟件中,VirtualLab Fusion提供了高速準(zhǔn)確的場追跡和光線追跡引擎。
使用非球面透鏡的2D激光掃描系統(tǒng)
激光晶體中的應(yīng)力誘導(dǎo)雙折射:通過觀察輸出場隨應(yīng)力強(qiáng)度的變化,研究了YAG晶體中應(yīng)力誘導(dǎo)的雙折射現(xiàn)象。
為了充分表征超短脈沖的聚焦行為,必須考慮不同的電磁特性。這包括空間分布,時間、光譜分布、矢量效應(yīng),以及所有這些之間可能的耦合。以高NA拋物鏡聚焦10-fs脈沖為例,在VirtualLab Fusion中模擬了聚焦過程,研究了聚焦過程的時空行為
虛擬和混合現(xiàn)實(shí)
針對VR,AR以及MR應(yīng)用,VirtualLab Fusion為用戶提供了多通道波導(dǎo)成像系統(tǒng)的非序列建模技術(shù),建模過程中能夠?qū)Σㄇ安睢⒛芰饕约癙SF/MTF進(jìn)行評估。
在現(xiàn)代顯示技術(shù)中,成像通道(換句話說,即從成像面板到人眼的光路)必須緊湊,同時其也在面板和人眼之間引入一個橫向偏移。此外,我們一般需要多路傳輸進(jìn)入許多成像通道,從而為不同位置處的人眼提供圖像。為此,包含光柵的波導(dǎo)受到了越來越多的關(guān)注。VirtualLab Fusion能夠?qū)崿F(xiàn)非序列光線追跡和場追跡建模,并設(shè)計具有以下特性的器件:包括光柵效應(yīng)的電磁感應(yīng)、自動探測通過波導(dǎo)所有相關(guān)的光路,甚至可以對考慮了通道的部分相干效應(yīng)的任意位置處的人眼計算多通道輸入時的PSF/MTF。
具有“蝴蝶瞳孔擴(kuò)張”的光導(dǎo)系統(tǒng)
眼盒內(nèi)光分布的橫向均勻性評估
近眼顯示系統(tǒng)的結(jié)構(gòu):使用光波導(dǎo)進(jìn)行導(dǎo)光,使用光柵進(jìn)行光的耦合以及多通道擴(kuò)展。左圖為結(jié)構(gòu)展示;右圖為VirtualLab Fusion中的建模模型
光線在近眼顯示系統(tǒng)中的非序列傳播以及光柵雜散光造成鬼像
R. Shi, N. Janunts, R. Heintzmann, C. Hellmann, and F. Wyrowski ‘Fast-physical Optics Modeling of Microscopy System with Structured Illumination ’, Proc. SPIE 10694, Computational Optics II, 106940I (18 June 2018) Z. Wang, S. Zhang, O. Baladron-Zorita, C.?Hellmann, and F. Wyrowski?‘Application of the Semi-Analytical Fourier Transform to Electromagnetic Modeling’, Opt. Express 27, 15335-15350 (2019) 訊技光電《VirtualLab Fusion高速物理光學(xué)軟件用戶手冊》
原文始發(fā)于微信公眾號(艾邦VR產(chǎn)業(yè)資訊):VirtualLab Fusion 高速物理光學(xué)建模設(shè)計仿真技術(shù)
