? “可用于生產高純度多晶硅的高絕緣氮化硅材料關鍵技術及應用”獲院士認可，技術水平“國際領先”！

? 2023年9月6日，中國高科技產業化研究會和北京高科新創科技評估中心在北京組織召開了“可用于生產高純度多晶硅的高絕緣氮化硅材料關鍵技術及應用” 產學研合作項目科技成果評價會。會議邀請了來自中國科學院、清華大學、工業和信息化部政策法規司、北京有色金屬研究總院、中國環境監測總站、國家科技獎勵辦、中國化工集團等單位專家領導形成評審委員會。

? 專家組認為，該項目針對多晶硅生產用氧化鋁絕緣件存在的力學性能低、抗熱震性能較差、高溫還原性氣氛下絕緣強度不夠、使用壽命短等不足，嚴重影響多晶硅生產效率和產品的品質，開發出可替代氧化鋁材料的新型氮化硅特種材料制備技術及絕緣件制品，取得了多項技術創新，技術指標先進，市場占有率達到70%。

? 會上，李亞東院士鼓勵企業，技術研發要尊重科學，尊重創新歷史，摒棄概念，用科學數據嚴謹支撐技術創新鏈條，系統化對比國際同類技術，深度挖掘凝練差異化創新，精準呈現技術領先性，提高獎項、課題等申報效率。【高科新創信息中心】

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