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1月25日,由湖南大學(xué)、湖南大學(xué)無錫半導(dǎo)體先進(jìn)制造創(chuàng)新中心和江蘇優(yōu)普納科技有限公司等單位共同完成的“非球面光學(xué)納米級復(fù)合加工機(jī)床”和“SiC晶圓超精密磨削減薄技術(shù)及裝備”兩項科技成果鑒定會在湖南大學(xué)無錫半導(dǎo)體先進(jìn)制造創(chuàng)新中心召開。

“SiC晶圓超精密磨削減薄技術(shù)及裝備”等兩項科技成果鑒定已成功達(dá)到國際先進(jìn)水平

成果完成單位代表湖南大學(xué)丁榮軍院士,湖南大學(xué)無錫半導(dǎo)體創(chuàng)新中心中心執(zhí)行主任、項目負(fù)責(zé)人尹韶輝教授,總工劉堅教授及團(tuán)隊成員參加會議。西安交通大學(xué)蔣莊德院士、華中科技大學(xué)丁漢院士、中國機(jī)床工具協(xié)會副理事長王黎明、蘇州大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院院長孫立寧、中國機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會副總工程師溫順如、中國機(jī)械工程學(xué)會梅熠、南京航空航天大學(xué)機(jī)電學(xué)院院長傅玉燦、江南大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院院長趙軍華、南京波長光電科技股份有限公司總經(jīng)理王國立、寧波舜宇紅外技術(shù)有限公司部長周剛、中電化合物半導(dǎo)體有限公司總經(jīng)理潘堯波、株洲中車時代半導(dǎo)體有限公司部長趙艷黎等共12位專家及用戶代表參加此次鑒定會。

“SiC晶圓超精密磨削減薄技術(shù)及裝備”等兩項科技成果鑒定已成功達(dá)到國際先進(jìn)水平
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項目組主要成員舒成松博士作“非球面光學(xué)納米級復(fù)合加工機(jī)床”項目匯報,王哲博士作“SiC晶圓超精密磨削減薄技術(shù)及裝備”項目匯報。鑒定委員會一致認(rèn)為項目成果達(dá)到國際先進(jìn)水平,部分指標(biāo)國家領(lǐng)先,建議進(jìn)一步擴(kuò)大市場應(yīng)用。

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湖南大學(xué)無錫半導(dǎo)體創(chuàng)新中心表示將繼續(xù)深耕半導(dǎo)體光學(xué)領(lǐng)域,解決我國非球面光學(xué)機(jī)床及第三代半導(dǎo)體晶圓減薄技術(shù)及裝備的卡脖子問題,實現(xiàn)國產(chǎn)替代,推動我國超精密制造技術(shù)的發(fā)展。
來源:湖南大學(xué)無錫半導(dǎo)體創(chuàng)新中心

原文始發(fā)于微信公眾號(艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)):“SiC晶圓超精密磨削減薄技術(shù)及裝備”等兩項科技成果鑒定已成功達(dá)到國際先進(jìn)水平

作者 li, meiyong

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