NEDO 和日本產業技術綜合研究所 (AIST) 正在致力于"下一代精細陶瓷制造工藝的基礎和應用開發"，旨在構建精細陶瓷的工藝信息學 (PI)。近期，該研究團隊開發了開發了一種可視化技術，可以使用熒光顯微鏡在室溫和大氣壓下使用激光從表面沿深度方向觀察精細陶瓷燒結體內部存在的裂紋和氣孔等致命缺陷。目前已確認該技術可應用于氧化鋁、氮化硅、氮化鋁等淺色（白色、灰色）的陶瓷?？梢苑瞧茐男缘乜焖贆z測陶瓷燒結體內存在的、影響材料性能和質量的約 10 至 100 μm 的致命缺陷?？梢灶A測致命缺陷導致的機械性能惡化，檢查精細陶瓷產品的質量，并改進制造工藝以提高性能。未來，研發團隊將開發一種技術來提高分散在表面和內部的缺陷的可視化精度。此外，還將對不同成分和性能的精細陶瓷材料的致命缺陷分布進行統計分析，并對斷裂強度預測技術進行示范實驗。該技術使得控制精細陶瓷產品的質量、預測機械性能和改進制造工藝成為可能，并有望導致以前無法預見的創新材料的開發。

圖 1 通過改進觀測技術并將各種數據集輸入模擬器或人工智能來預測材料結構和物理特性

在精細陶瓷領域，制造工藝技術往往基于"經驗和直覺"，一個主要問題是開發制造工藝需要時間和成本。該項目旨在建立覆蓋精細陶瓷所有制造工藝的PI，充分利用先進的計算科學和尖端的過程測量技術，為創新工藝開發奠定基礎。 為此，有必要開發能夠快速、輕松地檢測出極大影響精細陶瓷性能的致命缺陷的技術。在此背景下，NEDO和AIST自2022年以來一直致力于該項目中的"高可靠性機構分析技術的開發"。作為這項工作的一部分，該團隊正在尋找一種非破壞性、簡單且有效的方法來使用顯微鏡和其他工具來檢測致命缺陷，這些缺陷稀疏地分散在精細陶瓷燒結體內的大范圍內。

將方形金字塔形金剛石壓頭（維氏壓頭）壓入陶瓷表面，人為地引入壓痕和裂紋。使用普通金相顯微鏡觀察反射圖像時，只能在暴露于表面的區域觀察到裂紋，如下圖2左所示，為此，研究團隊開發了一種在室溫和大氣壓下使用激光熒光顯微鏡從表面沿深度方向觀察熒光圖像的技術。

圖2 通過金相顯微鏡引入氧化鋁中的維氏壓痕和裂紋的反射圖像（左），通過激光熒光顯微鏡觀察獲得的裂紋形貌的3D圖像（右）

如下圖3左在預先確認樣品內部存在粗大孔的致密氮化硅燒結體的表面的金相顯微鏡反射圖像中，除非孔暴露在表面上，否則不可能觀察到內部存在的孔。另一方面，通過使用激光的熒光顯微鏡從表面沿深度方向觀察熒光圖像，經確認，表面觀察中看不到的粗孔隱藏在樣品內部（圖3右）。除此之外，即使在致密的氧化鋁燒結體中，我們不僅能夠觀察表面，還能夠觀察內部孔隙，證實了該技術的適用性。

圖3 粗孔氮化硅的金相顯微鏡反射圖像（左），使用激光熒光顯微鏡觀察到的與左圖相同區域的熒光圖像，位于表面以下約 3 μm（右）

觀察陶瓷內部缺陷的現有技術被稱為薄片透照法，其中將樣品切成50微米或更小的厚度，并使用透射光進行觀察。然而，該技術可以對表面進行鏡面拋光無需稀疏化，其優點是可以直接觀察。另外，近年來，利用微焦點X射線CT掃描方法，可以以1μm的分辨率觀察約1mm3的面積。3×4×40mm陶瓷強度試件，耗時數十小時。該技術的優點是非破壞性，只需幾分鐘即可觀察到。

在這個項目中，NEDO和AIST將開發檢測表面和內部零件缺陷的技術，以提高該項目開發的技術的準確性。此外，還將對各種成分和性能的精細陶瓷材料的致命缺陷的分布進行統計分析，并利用該分析進行斷裂強度預測技術的演示實驗。這項技術使得控制陶瓷產品的質量、預測其機械性能、甚至改進制造工藝成為可能，并有望導致以前未曾預料到的創新材料的開發。

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