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2024年陶瓷靜電卡盤產(chǎn)業(yè)報(bào)告分享.PDF

靜電吸盤(Electrostatic Chuck),也稱靜電卡盤、靜電夾盤,是一種利用靜電吸附原理夾持固定被吸附物的夾具,適用于真空及等離子體環(huán)境,主要作用是吸附超潔凈薄片(如硅片),并使吸附物保持較好的平坦度,可以抑制吸附物在工藝中的變形,還能夠調(diào)節(jié)吸附物的溫度,為 PVD 設(shè)備、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)等高端半導(dǎo)體裝備的核心部件。瓷靜電卡盤由于技術(shù)難度高,我國陶瓷靜電卡盤長期依賴進(jìn)口,屬于我國集成電路制造行業(yè)“卡脖子”技術(shù)。目前陶瓷靜電卡盤的市場主要掌握在美國應(yīng)用材料(Applied Materials)、泛林集團(tuán)(Lam Research)、日本新光電氣(SHINKO)等國外企業(yè)手中,其中,應(yīng)用材料和泛林生產(chǎn)的靜電吸盤主要供應(yīng)自己的半導(dǎo)體設(shè)備,日本新光電氣、TOTO和NTK等則為第三方供應(yīng)商。目前國內(nèi)僅北京華卓、中電科12所等極少數(shù)企業(yè)實(shí)現(xiàn)了靜電吸盤產(chǎn)品的研發(fā)和量產(chǎn),國內(nèi)企業(yè)在技術(shù)、產(chǎn)品種類、生產(chǎn)規(guī)模上與國外領(lǐng)先企業(yè)仍有較大差距。

根據(jù)公開資料,艾邦為大家整理了2024年陶瓷靜電卡盤產(chǎn)業(yè)報(bào)告PDF,限時(shí)(截止2024.4.12)免費(fèi)分享,報(bào)告內(nèi)容包含靜電卡盤簡介(結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、制備工藝、市場規(guī)模等)、國內(nèi)靜電卡盤相關(guān)企業(yè)、國內(nèi)靜電卡盤相關(guān)企業(yè)(供應(yīng)商),共40+頁左右,需要本份資料的朋友可按照一下步驟操作即可免費(fèi)領(lǐng)取:轉(zhuǎn)發(fā)本文章鏈接至朋友圈,截圖;②長按識(shí)別二維碼,申請(qǐng)加群添加管理員微信,憑“文章轉(zhuǎn)發(fā)截圖”獲取。(PS:已在群的請(qǐng)勿重復(fù)加群,轉(zhuǎn)發(fā)后找管理員索取即可

2024年陶瓷靜電卡盤產(chǎn)業(yè)報(bào)告分享.PDF
部分報(bào)告內(nèi)容:
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推薦活動(dòng):【邀請(qǐng)函】2024年半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)論壇(2024年4月12日·泉州)

2024年半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)論壇

The ?Semiconductor Ceramics Industry?Forum

“功率半導(dǎo)體封裝用DBC/AMB陶瓷襯板、半導(dǎo)體設(shè)備精密陶瓷部件”

2024年4月12日
泉州·泉商希爾頓酒店

福建省泉州市晉江市濱江路999號(hào)

主辦單位:深圳市艾邦智造資訊有限公司
協(xié)辦單位:福建華清電子材料科技有限公司
媒體支持:艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)、艾邦陶瓷展、陶瓷科技視野
?
一、暫定議題
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序號(hào)

暫定議題

擬邀請(qǐng)企業(yè)

1

半導(dǎo)體設(shè)備中陶瓷零部件的應(yīng)用現(xiàn)狀與前景

清華大學(xué)?新型陶瓷與精細(xì)工藝國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室?潘偉?教授

2

氮化鋁基板和器件與半導(dǎo)體應(yīng)用

華清電子?向其軍?博士

3

先進(jìn)陶瓷材料制備與智能化實(shí)驗(yàn)平臺(tái)

北京科技大學(xué)?教授?白洋

4

高性能氮化鋁和氧化鋁粉體連續(xù)式生產(chǎn)關(guān)鍵工藝技術(shù)

中鋁新材料?事業(yè)部總經(jīng)理?吳春正

5

第三代功率半導(dǎo)體封裝用AMB陶瓷覆銅基板

北京科技大學(xué)?教授?楊會(huì)生

6

集成電路裝備關(guān)鍵部件用氮化物陶瓷研制與應(yīng)用

成都旭瓷/寧夏北瓷

7

功率半導(dǎo)體封裝基板用活性金屬釬焊材料

湖南冶金材料研究院

8

功率器件模塊封裝用陶瓷基板的金屬化方法

南京航天航空大學(xué)?教授?傅仁利

9

科浩熱能原位排膠燒結(jié)一體化大氣燒結(jié)爐在半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)燒成中的應(yīng)用

科浩熱能 劉培新 總經(jīng)理

10

多層共燒陶瓷裝備的新領(lǐng)域新應(yīng)用

中電科二所 郎新星 高級(jí)專家

11

耐等離子腐蝕的氧化釔陶瓷的開發(fā)與應(yīng)用

擬邀請(qǐng)氧化釔陶瓷企業(yè)/高校研究所

12

高強(qiáng)度高耐磨的氮化硅陶瓷材料的開發(fā)

擬邀請(qǐng)氮化硅陶瓷企業(yè)/高校研究所

13

碳化硅陶瓷結(jié)構(gòu)件在集成電路制造關(guān)鍵裝備中的應(yīng)用

擬邀請(qǐng)?zhí)蓟杼沾善髽I(yè)/高校研究所

14

高純氧化鋁陶瓷制備工藝及其在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

擬邀請(qǐng)氧化鋁陶瓷企業(yè)/高校研究所

15

高精度復(fù)雜形狀碳化硅陶瓷制備工藝研究

擬邀請(qǐng)?zhí)蓟杼沾善髽I(yè)/高校研究所

演講及贊助請(qǐng)聯(lián)系李小姐:18124643204(同微信)

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贊助及支持企業(yè):

福建華清電子材料科技有限公司

清華大學(xué)

北京科技大學(xué)

山東大科電子科技有限公司

中鋁新材料有限公司

北京北方華創(chuàng)真空技術(shù)有限公司

蘇州德龍激光股份有限公司

深圳市叁星飛榮機(jī)械有限公司

株洲瑞德爾智能裝備有限公司

北京東方泰陽科技有限公司

廣東振華科技股份有限公司

北京凝華科技有限公司

合肥恒力裝備有限公司

蘇州赫瑞特電子專用設(shè)備科技有限公司

淄博科浩熱能工程有限公司

成都旭瓷新材料有限公司/寧夏北瓷新材料科技有限公司

湖南省冶金材料研究院有限公司

深圳市宇宸科技有限公司

上海儒佳機(jī)電科技有限公司

合肥費(fèi)舍羅智能裝備有限公司

肯樸廈門新材料有限公司

江蘇微艾諾智能裝備集團(tuán)有限公司

山東博奧新材料技術(shù)有限公司

中國電子科技集團(tuán)公司第二研究所

二、報(bào)名方式
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報(bào)名方式1:加微信
李小姐:18124643204(同微信)
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郵箱:lirongrong@aibang.com
注意:每位參會(huì)者均需要提供信息;
報(bào)名方式2:長按二維碼掃碼在線登記報(bào)名
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