清洗是貫穿半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要工藝環(huán)節(jié)，用于去除半導(dǎo)體硅片制造、晶圓制造和封裝測試每個步驟中可能存在的雜質(zhì)，避免雜質(zhì)影響芯片良率和芯片產(chǎn)品性能。清洗步驟數(shù)量約占所有芯片制造工序步驟的 30%以上，是所有芯片制造工藝步驟中占比最大的工序。隨著技術(shù)節(jié)點的繼續(xù)進步，清洗工序的數(shù)量和重要性將繼續(xù)隨之提升。清洗花籃，又名晶舟、卡匣，作為晶片清洗工藝的重要工具，在制造過程中起到承載運輸晶片的作用，其材質(zhì)的選擇以及結(jié)構(gòu)設(shè)計影響晶片生產(chǎn)的良率和效率。根據(jù)不同要求，清洗花籃一般由氟塑料（PTFE、PFA、PVDF）、聚丙烯經(jīng)過數(shù)控加工或注塑成型制成。下面我們一起來了解一下。一、半導(dǎo)體晶片清洗花籃
半導(dǎo)體槽式清洗的一般方法是：首先將晶圓放置在清洗花籃內(nèi)，然后將裝有晶圓的清洗花籃投入清洗槽內(nèi)，清洗槽內(nèi)裝有清洗劑并具有超聲波發(fā)生裝置。由于清洗花籃要與藥液接觸，需要考慮其耐酸堿性，因此優(yōu)選化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的材料。另外，由于花籃要與晶片相接觸，為了不損傷晶片，需要表面光滑的材料，同時，為了滿足有效的支撐和夾持，還要考慮其足夠的剛性，不易變形。清洗花籃的各組成部分可以采用相同的材料制成，可避免花籃在使用中被酸、堿介質(zhì)腐蝕，引起二次污染。根據(jù)不同要求，可由氟塑料（PTFE、PVDF、PFA）或聚丙烯(PP）材質(zhì)做成。氟塑料清洗花籃可用于浸入有機或無機清洗劑中進行清洗，當(dāng)清洗劑為有機清洗劑，使用溫度在80℃以下時，清洗花籃的材質(zhì)可采用聚丙烯。此外，還有清洗花籃生產(chǎn)廠家對材料進行表面處理，使得清洗花籃能夠迅速排除水分，達到速干且節(jié)能的效果。清洗花籃除了材質(zhì)要求外，對結(jié)構(gòu)的要求也很高。清洗花籃設(shè)置有洗凈孔槽，提升洗凈、瀝干和干燥效果，結(jié)構(gòu)緊湊、清洗及干燥過程安穩(wěn)牢靠可降低晶片碎片率，同時還要保證半導(dǎo)體晶片能充分接觸清洗劑。二、清洗花籃的生產(chǎn)企業(yè)
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清洗花籃可以通過注塑成型或數(shù)控加工的方法制造，下面給大家介紹23家清洗花籃相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)：中國
1.北京市塑料研究所有限公司
北京市塑料研究所始建于1964年，現(xiàn)所屬于北京市隆達輕工控股有限責(zé)任公司。主要是從事塑料加工成型技術(shù)及其應(yīng)用開發(fā)方面的研究，生產(chǎn)含氟塑料、通用塑料及工程塑料注塑和擠出制品。可提供 PP、PFA、PVDF材質(zhì)的清洗花籃。官網(wǎng)：http://www.slyjs.com.cn/2.南京瑞尼克科技開發(fā)有限公司
南京瑞尼克科技開發(fā)有限公司是一家集生產(chǎn)，研發(fā)，銷售為一體的現(xiàn)代化企業(yè)，研發(fā)生產(chǎn)PFA、FEP、PTFE系列產(chǎn)品，包括PTFE、PFA清洗花籃等。官網(wǎng)：http://www.njrnkyq.com/3.安徽興宇宏半導(dǎo)體科技有限公司
興宇宏半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司成立于2017年，是一家專注于為半導(dǎo)體自動化制造工藝提供全方位/高精度的承載/運輸產(chǎn)品的制造商。可提供PFA鐵氟龍卡匣。4.榮耀電子材料（重慶）有限公司
榮耀電子材料有限責(zé)任公司成立于2018年，是 Metaline工業(yè)有限公司旗下的高新技術(shù)企業(yè)，為半導(dǎo)體設(shè)備在超潔凈的制造和運輸過程中提供全方位包裝產(chǎn)品設(shè)計和制造服務(wù)。可提供PP、PFA、PVDF材質(zhì)的晶舟。官網(wǎng)：http://www.semiglory.com/5.中勤實業(yè)股份有限公司
中勤實業(yè)股份有限公司成立于1988年，總部位于臺灣，中勤開發(fā)在無塵室制程環(huán)境中搭配自動化機臺的承載保護運輸高分子材料裝置，包括各貴重金屬材、晶圓、光罩、面板保護承載及傳輸使用等。可提供PP、特氟龍、PFA材質(zhì)的清洗花籃。官網(wǎng)：http://www.ckplas.com/6.上品綜合工業(yè)股份有限公司
上品是臺灣半導(dǎo)體關(guān)鍵材料氟素樹脂設(shè)備及材料供應(yīng)商，擁有豐富的射出成型技術(shù)，以氟素樹脂(Teflon)生產(chǎn)各種高性能的射出成型產(chǎn)品，包括PFA清洗花籃。官網(wǎng)：https://www.alliedsupreme.com/7.嵩慶欣業(yè)有限公司
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嵩慶欣業(yè)有限公司成立于1997年，總部位于臺灣，致力于鐵氟龍抽管、CNC自動化加工、噴涂、內(nèi)襯、焊接等產(chǎn)品制造。專業(yè)定做[PTFE、PFA材質(zhì)的顯影花籃、蝕刻花籃以及提手等，用于半導(dǎo)體中的刻蝕，蝕刻，顯影，耐酸耐堿制程中。官網(wǎng)：https://www.liakoptfe.com.tw/8.申玥科技股份有限公司
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申玥科技股份有限公司成立于2006年，是臺灣一家擁有十幾年CNC塑膠加工經(jīng)驗的企業(yè)，申玥生產(chǎn)的鐵氟龍（PTFE）晶舟，采用特殊的功能設(shè)計，在晶圓放制于晶舟后，不會左右晃動，離開酸槽后可以將酸的殘留量降至最低。可依客戶制程需求設(shè)計各尺寸鐵氟龍晶舟載具。官網(wǎng)：https://www.sy-tech.com.tw/9.ePAK
ePAK 成立于1999 年, 制造和設(shè)計總部位于中國深圳，是一家專注于為半導(dǎo)體自動化制造工藝提供全方位/高精度的承載/運輸產(chǎn)品的制造商。產(chǎn)品覆蓋晶片的前端處理、后端IC的封裝/測試、終端系統(tǒng)部件的組裝處理。可提供清洗花籃。官網(wǎng)：https://www.epak.com/10.深圳市邁捷微科技有限公司
深圳市邁捷微科技有限公司成立于2002年4月2日，是集半導(dǎo)體包裝材料的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售一體的深圳高新技術(shù)企業(yè)，是半導(dǎo)體產(chǎn)品包裝方案系統(tǒng)解決的服務(wù)商。可提供鐵氟龍、PP材質(zhì)的清洗花籃。官網(wǎng)：http://www.majorway.com.cn/11.深圳市科晶智達科技有限公司
深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立，創(chuàng)立初期主要為半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件提供潔凈存儲和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品，產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等，可提供PFA、PP材質(zhì)的清洗花籃。官網(wǎng)：https://www.szkejing.com/12.無錫市瑞氟高分子材料有限公司
無錫市瑞氟高分子材料有限公司成立于2014年，是一家致力于氟塑料原材料銷售及其制品的生產(chǎn)和研發(fā)的企業(yè)。瑞氟可以生產(chǎn) PFA 晶片花籃等。官網(wǎng)：http://www.rayflon.com/13.南京濱正紅儀器有限公司
南京濱正紅儀器有限公司成立于2013年，是專門生產(chǎn)、研發(fā)、銷售高科技痕量分析實驗器皿的廠家。可根據(jù)客戶的要求，定做PFA、PTFE材質(zhì)的清洗花籃。官網(wǎng)：http://www.bzh17.com/14.深圳海納新材應(yīng)用技術(shù)有限公司
深圳海納新材應(yīng)用技術(shù)有限公司(Hiner-pack)成立于2013年，是一家集設(shè)計、制造、銷售半導(dǎo)體IC封裝測試及半導(dǎo)體晶圓制造工藝當(dāng)中自動傳送、承載、運輸產(chǎn)品的全方位供應(yīng)商。可提供多種顏色的PP、PVDF材質(zhì)晶舟。官網(wǎng)：https://www.hiner-pack.com/15.深圳市東虹鑫靜電器材有限公司
深圳市東虹鑫靜電器材有限公司專業(yè)從事半導(dǎo)體承載用具系列，防靜電周轉(zhuǎn)車存儲系列產(chǎn)品的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)為一體的實力生產(chǎn)廠家。可提供PFA材料制成清洗花籃。官網(wǎng)：http://www.dohone.com/16.上海嘉氟新材料科技有限公司
上海嘉氟新材料科技有限公司位于上海市松江區(qū)泖港鎮(zhèn)，專業(yè)從事氟化工等氟塑料產(chǎn)品的制造，根據(jù)用戶和市場的需求，研發(fā)并制造品質(zhì)的PVDF制品，用于太陽能、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。可生產(chǎn)PVDF硅片清洗花籃。官網(wǎng)：http://www.jofur.com.cn/17.無錫德晟自動化設(shè)備有限公司
無錫德晟自動化設(shè)備有限公司成立于2011年，主要服務(wù)于半導(dǎo)體電子和能源行業(yè)。可提供硅片清洗花籃。官網(wǎng)：http://www.wxdsauto.com/18.江陰市揚潤精密模具有限公司
江陰市揚潤精密模具有限公司是一家集模具開發(fā)和注塑成型一體化的高新技術(shù)企業(yè)，可提供半導(dǎo)體PFA清洗花籃。官網(wǎng)：http://www.yangrunmould.com/19.鎮(zhèn)江兆吉流體設(shè)備有限公司
鎮(zhèn)江兆吉流體設(shè)備為臺灣兆全科技關(guān)系企業(yè)，成立于2019年，以產(chǎn)銷高潔凈度電子級氣動泵為主要項目，也可以提供PTFE花籃、清洗槽等濕法設(shè)備配件。官網(wǎng)：http://www.jszhaoji.cn/國外
20.大日商事株式會社
大日商事株式會社成立于1959年12月2日，生產(chǎn)用于半導(dǎo)體工藝的塑料制品，包括前開式晶圓傳送盒FOUP、晶圓儲存盒、晶舟盒、晶舟把、光罩盒、晶片托盤用夾子等。可提供PP、PFA材質(zhì)的晶舟。官網(wǎng)：https://www.dainichi-shoji.co.jp/21.日本MiraialCo.,Ltd
Miraial成立于1968年7月，基于其多年開發(fā)的高功能塑料精密成型和加工技術(shù)，主要為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)產(chǎn)品，包括用于晶圓加工、運輸?shù)妮d具及配件。可提供PFA、PP材質(zhì)的清洗花籃。官網(wǎng)：https://www.miraial.co.jp22.美國Entegris
Entegris成立于1966年，總部位于美國馬薩諸塞州，是為半導(dǎo)體和其他高科技行業(yè)提供先進材料和工藝解決方案的領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)。Entegris為整個半導(dǎo)體制造及供應(yīng)鏈生態(tài)系統(tǒng)，提供最廣泛解決方案組合，可提供 PFA、聚丙烯或 STAT-PRO ? 100 材料的晶圓花籃。官網(wǎng)：https://www.entegris.com/23.韓國SANG-A FRONTEC
SANG-A FRONTEC 是以超高科技工程塑料為基礎(chǔ)，并有著相關(guān)產(chǎn)品生產(chǎn)需要的多樣的獨創(chuàng)加工技術(shù)。SANG-A FRONTEC 于1992年開始生產(chǎn)PFA花籃。官網(wǎng)：http://www.sftc.co.kr/更多清洗花籃生產(chǎn)企業(yè)，歡迎大家在評論區(qū)留言補充原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)）：半導(dǎo)體塑料清洗花籃企業(yè)20強
