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2023年9月,科友首批自產8英寸SiC襯底于科友產學研聚集區襯底加工車間成功下線,這標志著科友在8英寸SiC襯底加工,以及大尺寸襯底產業化方面邁出了堅實一步。

2023年4月,科友半導體8英寸SiC中試線正式貫通并進入中試線生產,同步推進晶體生長厚度、良率提升和襯底加工產線建設,加快襯底加工設備調試與工藝參數優化SiC襯底加工良率和面型參數上不斷取得新的進展,打破了國際在寬禁帶半導體關鍵材料的限制和封鎖

2023年6月,科友半導體表示已突破了8英寸SiC量產關鍵技術,8英寸SiC中試線平均長晶良率已突破50%,晶體厚度15mm以上,有望粉碎國際封鎖,成為我國大尺寸低成本碳化硅規模化量產制造技術的領跑者。

科友半導體自產首批8英寸碳化硅襯底下線

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批量生產的8英寸碳化硅晶體
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8英寸碳化硅切割片
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科友首批8英寸碳化硅襯底

哈爾濱科友半導體產業裝備與技術研究院有限公司成立于2018年5月,企業坐落于哈爾濱市新區,是一家專注于第三代半導體裝備研發、襯底制作、器件設計、科研成果轉化的國家級高新技術企業,研發覆蓋半導體裝備研制、長晶工藝、襯底加工等多個領域,已形成自主知識產權,實現先進技術自主可控。科友半導體在哈爾濱新區打造產、學、研一體化的第三代半導體產學研聚集區,實現碳化硅材料端從原材料提純-裝備制造-晶體生長-襯底加工-外延晶圓的材料端全產業鏈閉合,致力成為第三代半導體關鍵材料和高端裝備主要供應商。

原文始發于微信公眾號(艾邦半導體網):科友半導體自產首批8英寸碳化硅襯底下線

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