襯底是指沿特定的結晶方向將晶體切割、研磨、拋光，得到具有特定晶面和適當電學、光學和機械特性，用于生長外延層的潔凈單晶圓薄片。碳化硅襯底是新近發展的寬禁帶半導體的核心材料，以其制作的器件具有耐高溫、耐高壓、高頻、大功率、抗輻射等特點，具有開關速度快、效率高的優勢，可大幅降低產品功耗、提高能量轉換效率并減小產品體積。

圖? 8英寸碳化硅襯底，來源：山西爍科

在碳化硅SiC半導體行業三個重點環節（襯底、外延和器件）中，襯底是SiC產業鏈的核心，不僅價值量占比最高，接近50%；而且技術壁壘最高。襯底行業的發展也是未來SiC產業降本、大規模產業化的主要驅動力。

最近幾日，各大企業紛紛簽約、布局，驅動著碳化硅襯底產業鏈發展。?

在魯信創投積極對接關鍵材料提供方及上下游供應商的助力下，南砂晶圓濟南項目中高達99%的原材料、95%的主要生產設備將實現國產化，達到行業領先水平。

3月18日，浙江麗水云和縣人民政府與上海百豪新材料公司、北京世宇企業管理有限公司簽訂大尺寸碳化硅單晶襯底產業化項目意向合作協議。

據企查查顯示，百豪新材成立于2018年，是上海白克生物科技股份有限公司的全資子公司。另外百可生物在麗水開發區注冊成立浙江百可半導體材料有限公司，規劃半導體材料生產基地。

值得一提的是，去年9月26日，云和縣人民政府與深圳嘉力豐正投資發展有限公司簽約的特色工藝晶圓制造項目在今年2月奠基，正持續推進。項目依托嘉力豐正的半導體材料前沿技術，在云和投資生產6英寸和8英寸的碳化硅、化晶圓片，共分2個階段建設。（來源：集微網、麗水發布）

近日，據“科友半導體”官微宣布，成功拿下超2億元的出口歐洲長訂單之后，順利通過“國際汽車特別工作組質量管理體系”（IATF16949）認證，獲得進軍國內新能源汽車芯片襯底百億級規模市場“通行證”。

科友首批8英寸碳化硅襯底

2023年9月，科友半導體襯底加工生產線建成；10月，首批8英寸碳化硅襯底下線；目前，年產能穩步擴充到數千片。科友半導體開發的8英寸碳化硅材料裝備及工藝被中國電子學會組織的專家委員會評為“國內領先、國際先進水平”，是國內首家基于電阻式長晶爐制備獲得8英寸碳化硅單晶的企業。截止到2023年12月底，科友半導體實現銷售定單逾6億元人民幣，實現“當年投產即當年量產”。

近日，據“中科創星”官微消息，安儲科技宣布已完成Pre-A輪融資，本輪融資由中科創星領投，天匯資本和張家港智慧創投跟投。資金將用于產能擴建與設備研發。

安儲科技成立于2020年，專注于先進電子材料研發、生產和銷售，主營產品為配方型功能電子化學品（如拋光液、清洗液， 濕法刻蝕液， 光刻膠剝離液等）以及電子特氣安全存儲負壓鋼瓶兩大產品系列。

在碳化硅襯底拋光液方面，目前Fujimi、Ferro、卡博特（Cabot）、圣戈班（Saint-Gobain）等國際廠商占據全球大部分市場，這些廠商普遍采用氧化鋁作為研磨顆粒。

安儲科技則采用金屬氧化物作為研磨顆粒，其ACTL-WS系列拋光液不僅擁有較高的拋光速率，同時可獲得低表面粗糙度，低缺陷的晶圓表面。而且拋光液可以循環使用，降低客戶使用成本。

另外，碳化硅襯底拋光后機臺拋光墊清洗液方面，「安儲科技」開發的PK系列拋光后機臺拋光墊清洗液可以有效的清洗拋光后殘留物，清洗性能優異，清洗時間短，并可稀釋使用，降低客戶成本。

原文始發于微信公眾號（艾邦半導體網）：簽約、融資！南砂晶圓、科友等碳化硅襯底項目大動作