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半導體材料是指在常溫下導電性能介于絕緣體與導體之間的材料,電阻率在10-3~108Ωcm。半導體材料是制作晶體管、集成電路、電力電子器件、光電子器件的重要基礎材料。(https://www.ab-sm.com/)
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圖源:東芝
半導體材料的種類繁多,按照化學成分可分為元素半導體(Si、Ge)、化合物半導體(GaAs、SiC、GaN)和固溶體半導體;按組成元素可分為一元、二元、三元、多元等;按晶態可分為多晶、單晶和非晶;按應用方式可分為體材料和薄膜材料。體材料是單晶制片后直接用于制造半導體的材料,薄膜材料是在半導體材料或其他材料的襯底上生長的,純度和晶體完整性較好,適用于三維電路制造。
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圖 ?半導體材料,來源:東芝

一代材料,一代技術, 一代產業。半導體材料經過多年的發展,目前可以分為三代,形成了以硅為主,氮化鎵、砷化鎵、碳化硅等半導體新材料增強補充的產業局面:

表 ? 主要半導體材料的性能特點及應用

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Si、SiC、GaN性能比較

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1、第一代半導體材料

第一代半導體材料:硅(Si)、鍺(Ge)等元素半導體材料
  • 特點:硅材料儲量豐富、價格低廉、熱性能與機械優良、易于生長大尺寸高純度晶體等特點,處于成熟發展階段。但硅材料的物理性質限制了其在光電子和高頻高功率器件上的應用。

     

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圖 ?硅片,來源:中欣晶圓
  • 興起時間:20世紀50年代
上世紀50年代,鍺在半導體中占主導地位,主要用于低電壓、低頻、中功率器件,1958年由德州儀器公司杰克·基爾比發明的世界上第一塊集成電路就是基于鍺,但由于鍺的耐高溫、抗輻射性能較差,到60年代后期逐漸被硅取代。硅材料是目前產量最大、應用最廣的半導體材料,95%以上的半導體產品是用硅材料制作的。
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圖 ?1958年,基爾比發明了世界上第一塊基于鍺的集成電路
  • 應用領域:消費電子、通信、光伏、軍事以及航空航天等。
以硅為代表的第一代半導體材料,取代了笨重的電子管,導致了以集成電路為核心的微電子工業的發展和整個IT 產業的飛躍,廣泛應用于信息處理和自動控制等領域。

2、第二代半導體材料

第二代半導體材料:砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)、磷化鎵(GaP)、砷化銦(InAs)、砷化鋁(AlAs)及其合金等。
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圖 ?GaAs晶圓,來源:CMK
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  • 興起時間:20世紀70年代
以光纖通信為基礎的信息高速公路和互聯網的興起,GaAs、InP等第二代半導體材料開始嶄露頭角。磷化銦半導體激光器是光通信系統的關鍵器件,砷化鎵高速器件更開拓了光纖及移動通信新產業。
  • 特點:與硅相比,第二代半導體材料具有禁帶寬度大、電子飽和漂移速度高、光電特性好、耐高溫、抗輻射等特性。但由于GaAs、InP材料資源稀缺、大尺寸制備困難、價格昂貴、有毒性、污染環境,應用受到一定局限。
  • 應用領域:衛星通訊、移動通訊、光通信和GPS導航等領域。

3、第三代半導體材料

第三代半導體材料:寬禁帶(Eg> 2.3eV ) 的半導體材料包括氮化硅(SiC)、硒化鋅(ZnSe)、金剛石和氮化鎵(GaN)等。
  • 特點:第三代半導體材料具備擊穿電場高、熱導率大、電子飽和漂移速率高、抗輻射能力強等優越性能

 

  • 興起時間:20世紀90年代
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圖 ? SiC晶圓,來源:BOSCH
  • 應用領域:新能源與智能電網領域、軌道交通與新能源汽車領域、5G通訊和物聯網領域、光電子與顯示領域、消費類電子和工業電機領域、航空航天與軍工領域等。

目前研發較為成熟的材料是SiC和GaN等,其中氮化硼、氮化鋁和金剛石等材料的研究則尚屬于起步階段。

半導體材料是器件研發的基礎,半導體材料的發展必然要依賴于后期器件的開發應用,而器件的開發應用同時受制于材料的發展。半導體器件由同質結、異質結轉向基于量子阱、量子線、量子點器件的設計與制造,這一轉向改變了半導體材料的發展方向,在傳統第一、第二代半導體材料發展的同時,加速發展寬禁帶第三代半導體材料的趨勢。

原文始發于微信公眾號(艾邦半導體網):一文看懂半導體材料

作者 li, meiyong

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