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據日本媒體報道,Novel Crystal Technology計劃投資約為20億日元,向其公司工廠添加設備,到 2025 年,建成年產 20,000 片 100mm(4 英寸)氧化鎵 (Ga2O3) 晶圓生產線。
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Novel Crystal Technology計劃至2026年4英寸氧化鎵晶圓產能達2萬片
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除了制造和加工氧化鎵單晶基板的設備和檢查設備外,Novel Crystal Technology還將引進用于在晶圓上外延生長氧化鎵的成膜設備,并計劃開發一種可以同時沉積多個晶圓的新設備。
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與由硅制成的傳統半導體相比,氧化鎵半導體可以實現器件的功耗降低和高耐壓。其特點是能夠通過熔融法生長塊狀單晶并有效地制造晶體基板。與正在投入實際應用的碳化硅(SiC)等下一代材料相比,晶體生長速度快了約100倍,基板更容易制造,從而顯著降低了成本。
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原文始發于微信公眾號(艾邦半導體網):Novel Crystal Technology計劃至2026年4英寸氧化鎵晶圓產能達2萬片

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