昭和電工是第一家開始出貨用于 SiC(碳化硅)功率半導體的 200 mm(8 英寸)尺寸 SiC 外延片樣品的日本制造商。該產品使用了該公司的SiC 單晶基板(SiC 晶片)。

圖 SiC 外延片
與使用硅晶片的傳統功率半導體相比,SiC功率半導體產生的功率損耗和熱量更少,作為有助于節能的器件,在電動汽車和可再生能源方面的市場正在迅速擴大。與SiC功率半導體性能密切相關的SiC外延片要求缺陷少、質量穩定。目前,碳化硅功率半導體主要使用150毫米(6英寸)碳化硅外延片生產。隨著 SiC 外延片直徑的增加,單片晶圓可以獲得更多的芯片,有望為器件制造商提高生產率并降低成本。
在這些市場需求的背景下,昭和電工將從2021年開始全面開發200mm晶圓,并開始使用的200mm SiC晶片進行SiC外延片的樣品出貨。昭和電工已經在 SiC 外延片領域擁有世界第一的市場份額。這次,除了從合作公司采購SiC晶片外,昭和電工還將致力于使用自己的晶片進行產品開發,旨在擴大200mm SiC外延片的生產,建立穩定的供應體系,進一步提高質量。
此外,昭和電工將以到2030年將SiC外延片及其原材料SiC晶片尺寸減小到200mm,缺陷密度降低一位數以上為目標,進行下一代綠色功率半導體的碳化硅晶片技術開發。
原文始發于微信公眾號(艾邦半導體網):昭和電工8 英寸SiC外延片樣品開始出貨