近日,國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)(SEMI)正式發(fā)布了碳化硅半導(dǎo)體外延晶片全球首個(gè)SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)——《4H-SiC同質(zhì)外延片標(biāo)準(zhǔn)》(Specification for 4H-SiC Homoepitaxial Wafer)。此標(biāo)準(zhǔn)由瀚天天成電子科技(廈門(mén))股份有限公司主導(dǎo)編寫(xiě),由中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、株洲中車時(shí)代電氣股份有限公司、Wolfspeed等十二家單位參與編寫(xiě),歷時(shí)近三年時(shí)間。
國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)(SEMI)是全球性的產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì),致力于國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的制定,SEMI積極促進(jìn)微電子、平面顯示器及太陽(yáng)能光電等產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈的整體發(fā)展,代表著全球各地產(chǎn)業(yè)的呼聲和需求,是行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)的風(fēng)向標(biāo)。
SEMI全球已成立了21個(gè)標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)及200多個(gè)工作小組為推動(dòng)全球產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的制定貢獻(xiàn)力量。目前SEMI國(guó)際產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)已有50年的發(fā)展歷史,已經(jīng)制定了高達(dá)1077項(xiàng)、21大類的標(biāo)準(zhǔn)及安全相關(guān)準(zhǔn)則,并廣為全球IDM廠、晶圓廠、封裝測(cè)試廠等應(yīng)用。
《4H-SiC同質(zhì)外延片標(biāo)準(zhǔn)》這一國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布實(shí)施,將在規(guī)范國(guó)際碳化硅半導(dǎo)體外延行業(yè)有序發(fā)展,降低國(guó)際貿(mào)易協(xié)作成本,加速新技術(shù)在全球的推廣等方面具有深遠(yuǎn)的意義。
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