蘇州瑞霏光電科技有限公司致力于成為三維檢測裝備的領軍企業，為先進制造提供精密的“眼睛”，基于為高端智能制造保駕護航的發展戰略，公司以提升客戶檢測效率與產品質量為使命，以專業的技術服務和對客戶業務的深入理解，為客戶提供從研發到生產到質控的精密三維檢測方案。
01
晶圓內應力檢測儀 Strain Viewer
優勢
02
多模式三維顯微鏡 Micro 2000
優勢
√?優越的表面粗糙度測量能力（亞納米級至微米級）
√?高效率大區域三維輪廓測量能力 （數微米級測量區域至百毫米級測量區域）
03
晶圓翹曲應力測量儀 Stress Mapper
優勢
√?全口徑均勻采樣測量，采樣間隔最少可至0.1mm
√?同時具備翹曲測量及應力測量功能
√?直觀展現薄膜導致的晶圓形變，可計算整面應力mapping和任意角度的曲率及應力
√?強大的附加模塊：薄膜應力變溫測量模塊（室溫到500℃）
√?豐富的軟件分析功能，包括：三維翹曲圖、晶圓翹曲參數統計（BOW，WARP等）、ROI分析、薄膜應力及分布、應力隨時間變化、薄膜應力變溫測量、曲率計算、多項式擬合、空間濾波等多種后處理算法。?
原文始發于微信公眾號（艾邦半導體網）：瑞霏光電碳化硅晶圓內應力檢測儀介紹