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近日,電科材料下屬山西爍科晶體有限公司成功研制出8英寸碳化硅晶體,實現了8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產。

?電科材料成功研制出8英寸碳化硅晶體

碳化硅具有的高硬度、高脆性、低斷裂韌性等特點,對溫度及壓力控制有著極其苛刻的要求,使得在大尺寸碳化硅單晶的制備及切割時成為非常棘手的問題。

爍科公司專業深耕碳化硅材料領域。2021年8月,經過刻苦攻關,研制出8英寸碳化硅晶體,成功解決大尺寸單晶制備的重要難題。2022年1月,再次取得重大突破,實現8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產,向8英寸國產N型碳化硅拋光片的批量化生產邁出了關鍵一步,進一步縮小國內外技術差距,為我國碳化硅事業的自主保障能力、自主創新發展夯基固本。

來源:中電材料
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原文始發于微信公眾號(艾邦半導體網):?電科材料成功研制出8英寸碳化硅晶體

作者 li, meiyong

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