12月27日，由上海盛劍半導(dǎo)體科技有限公司建設(shè)運(yùn)營的國產(chǎn)半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件生產(chǎn)基地在嘉定工業(yè)區(qū)開工，總投資6億元，項(xiàng)目建成后，有望提升半導(dǎo)體制程附屬裝備的高端國產(chǎn)化配套能力，推動(dòng)半導(dǎo)體裝備國產(chǎn)替代率不斷提高。
該項(xiàng)目占地面積約42畝，擬分兩期投資建設(shè)，生產(chǎn)基地選址嘉定工業(yè)區(qū)（北區(qū)），將打造成為集研發(fā)、制造、銷售和維保服務(wù)為一體的國產(chǎn)先進(jìn)半導(dǎo)體附屬裝備平臺。
據(jù)了解，上海盛劍半導(dǎo)體科技有限公司成立于2021年12月，是國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)工藝廢氣治理系統(tǒng)解決方案領(lǐng)軍企業(yè)——上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技股份有限公司（股票代碼：603324）的子公司。截至目前，企業(yè)已獲專利50余項(xiàng)，在半導(dǎo)體附屬設(shè)備領(lǐng)域具備深厚積累，服務(wù)于中芯國際、華虹半導(dǎo)體、北京集電、格科微、卓勝微、長電科技、京東方、華星光電、惠科光電、天馬微電子、維信諾、和輝光電、彩虹股份、ICRD、士蘭微電子、芯恩、粵芯半導(dǎo)體、華為海思、中電系統(tǒng)、深南電路、通威股份等知名企業(yè)。
集成電路制造關(guān)鍵附屬裝備主要包括溫控裝備、干泵、尾氣處理裝備和真空隔離閥等。半導(dǎo)體制造的核心工藝流程主要包括摻雜、光刻、刻蝕和薄膜工藝，在硅片清洗、氧化、濕法腐蝕、干法腐蝕、離子注入、擴(kuò)散、化學(xué)氣相沉積等環(huán)節(jié)，會(huì)產(chǎn)生大量酸堿、砷烷、磷烷、有機(jī)等工藝廢氣。廢氣治理直接影響客戶的產(chǎn)能利用率、產(chǎn)品良率，以及員工職業(yè)健康、生產(chǎn)環(huán)境。針對各工藝段產(chǎn)生的廢氣，盛劍環(huán)境提供一般排氣、酸性、堿性、有毒、VOCs等泛半導(dǎo)體工藝廢氣解決方案。
原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)）：總投資6億元，上海盛劍半導(dǎo)體打造國產(chǎn)先進(jìn)半導(dǎo)體附屬裝備平臺！
