12月27日，由上海盛劍半導體科技有限公司建設運營的國產半導體制程附屬設備及關鍵零部件生產基地在嘉定工業區開工，總投資6億元，項目建成后，有望提升半導體制程附屬裝備的高端國產化配套能力，推動半導體裝備國產替代率不斷提高。
該項目占地面積約42畝，擬分兩期投資建設，生產基地選址嘉定工業區（北區），將打造成為集研發、制造、銷售和維保服務為一體的國產先進半導體附屬裝備平臺。據了解，上海盛劍半導體科技有限公司成立于2021年12月，是國內半導體產業工藝廢氣治理系統解決方案領軍企業——上海盛劍環境系統科技股份有限公司（股票代碼：603324）的子公司。截至目前，企業已獲專利50余項，在半導體附屬設備領域具備深厚積累，服務于中芯國際、華虹半導體、北京集電、格科微、卓勝微、長電科技、京東方、華星光電、惠科光電、天馬微電子、維信諾、和輝光電、彩虹股份、ICRD、士蘭微電子、芯恩、粵芯半導體、華為海思、中電系統、深南電路、通威股份等知名企業。集成電路制造關鍵附屬裝備主要包括溫控裝備、干泵、尾氣處理裝備和真空隔離閥等。半導體制造的核心工藝流程主要包括摻雜、光刻、刻蝕和薄膜工藝，在硅片清洗、氧化、濕法腐蝕、干法腐蝕、離子注入、擴散、化學氣相沉積等環節，會產生大量酸堿、砷烷、磷烷、有機等工藝廢氣。廢氣治理直接影響客戶的產能利用率、產品良率，以及員工職業健康、生產環境。針對各工藝段產生的廢氣，盛劍環境提供一般排氣、酸性、堿性、有毒、VOCs等泛半導體工藝廢氣解決方案。原文始發于微信公眾號（艾邦半導體網）：總投資6億元，上海盛劍半導體打造國產先進半導體附屬裝備平臺！
