2023年12月28日上午，廣州增芯科技有限公司舉行首臺生產設備搬入儀式。
本次搬入設備是由中微半導體設備（上海）有限公司制造的Primo D-RIE?刻蝕設備反應臺，也是增芯12英寸智能傳感器及特色工藝晶圓生產線項目搬入的首臺生產設備，運用了中微具有自主知識產權的創新技術，是國際主流芯片生產線上必不可少的設備。該設備的搬入，是繼項目“920封頂”以來的重要交付，標志著增芯項目一期工程土建和機電安裝已經完工，項目由建設期正式轉入運營前的生產準備階段。本次活動的圓滿成功，標志著增芯正式邁入新起點、新征程。
原文始發于微信公眾號（艾邦半導體網）：廣州增芯科技邁入新紀元：首臺Primo D-RIE?設備搬入儀式成功舉行