隨著芯片、晶圓、IGBT模塊、碳化硅模塊、液冷板等關鍵部件需求量激增,如何確保這些高精尖產品的質量,成為制造商和下游客戶共同關注的焦點。
尤其是半導體先進封裝,它的結構進一步微型化、輕量化,集成度更高,功能更復雜,必須更加精準地探測、識別、標記封裝中的剝離、裂縫、空洞、翹曲等缺陷,判定OK或NG。
破壞性抽樣檢測會造成工件損壞,也無法實現100%抽檢;非破壞性2D X-Ray成像分辨率不高,對微米級缺陷的檢測并不適用,難以滿足芯片制造廠商逐步提高的質量要求。
(C-SAM/SAT)
超聲波掃描顯微鏡利用了超聲波在不同介質間傳播聲阻不同的特點,借助回波定位成像技術,讓檢測人員能夠一目了然地了解到工件的內部狀況。
超聲波掃描不會對樣品造成任何損傷,不影響樣品性能,而且檢測效果更為精準直觀,可分層檢測,并進行快速的定性定量分析。在工業無損檢測(NDT)、失效分析(FA)、可靠性分析(RA)、質量檢測(QC)以及研發等多個領域都有應用。
上海驕成超聲波技術股份有限公司(股票名稱:驕成超聲,股票代碼:688392)是國內功率超聲設備第一家上交所科創板上市企業,專注超聲波技術與應用解決方案,核心技術團隊來自上海交通大學、北京大學等國內知名學府。公司研發技術人員占比近40%,涵蓋機械、電氣、聲學、軟件、算法、電子電路等相關學科,在超聲波無損檢測技術領域擁有深厚的技術儲備與應用經驗。
上海驕成超聲波掃描顯微鏡(C-SAM/SAT)可廣泛應用于新能源電池、IGBT功率模塊、電子元器件、水冷板、金剛石復合片、陶瓷基板、半導體芯片、晶圓等工件內部缺陷檢測,為客戶提供國產化超聲波無損檢測解決方案,進一步打破了高端超聲波檢測設備被進口品牌壟斷的局面。
上海驕成新一代超聲波掃描顯微鏡(C-SAM/SAT)相較于前一代產品,具有以下優勢:
上海驕成聯合上海交通大學等合作伙伴,自主開發了3D程序算法,從傳統C掃描分析上升至3D結果分析,數據更全面。配合多維AI識別算法,缺陷展示效果更明顯,性能優異。
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超聲波掃描顯微鏡與AI智能算法的融合,不僅提升了檢測缺陷的準確性和效率,也改變了傳統檢測方式的局限性,使得超聲波掃描顯微鏡設備成為“新質生產力”的質檢擔當。

上海驕成擁有芯片/晶圓、HPD/ED3、DCM、陶瓷基板(DBC/AMB)等各類型在線超聲波掃描檢測設備,應用于半導體后道封裝、先進封裝等多種應用場景。防水載具均可定制,提供各頻率焦段探頭等零配件。

上海驕成超聲波技術股份有限公司(以下簡稱“驕成超聲”)成立于2007年,坐落于上海“大零號灣”科技創新策源功能區,背靠上海交通大學,是一家專注于超聲波技術與應用解決方案的高科技實體企業,2022年9月成功在上交所科創板上市。
截至2024年2月,驕成超聲擁有知識產權340余項,其中發明專利70項?;谧灾餮邪l的超聲波技術平臺和豐富的行業應用經驗,驕成超聲在半導體領域推出了端子超聲波焊機、Pin針超聲波焊機、銅線鍵合機、鋁線鍵合機、超聲波掃描顯微鏡(C-SAM/SAT)等產品,為封裝企業不再受制于國外技術,提供了穩定可靠的國產化選擇,目前已向國內半導體頭部客戶批量供貨。
未來,驕成超聲將不斷推動超聲波技術的創新應用,繼續攜手新能源電池、半導體、汽車線束、橡膠輪胎、食品、醫療、衛生用品等多個行業客戶,共同追求技術進步與產業繁榮。
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原文始發于微信公眾號(艾邦半導體網):“新質生產力”背后的質檢利器:上海驕成新一代超聲波掃描顯微鏡