功率半導體是電力電子設備轉換能源的核心元件，隨著新能源汽車、充電樁、光伏儲能等市場的快速發展，電力電子設備正向著高功率、多集成、小型化發展。以IGBT和SiC MOS為代表的功率半導體模塊也變得更加集成化和小型化，對設計的緊湊性和封裝技術提出了更高要求。

在功率模塊的生產過程中，自動化設備及流程至關重要，確保產品的質量和可靠性。封裝作為生產中的一大難點，面臨封裝效率低和良品率低的問題。封裝過程中，設備自動化程度不高、器件容易氧化、溫度均勻性和潔凈度難以有效控制，這些因素導致封裝模塊的一致性降低、成本居高不下。

為了解決這些問題，自動化功率模塊封裝測試智能工廠應運而生，能夠實現功率模塊的批量化生產、智能制造及柔性制造。當前應用廣泛的功率模塊主要是IGBT模塊和SiC MOS模塊，二者的封裝工藝流程大體相似，但在封裝材料上有所不同，因此在工藝上也有一些差別。

由于SiC材料的寬禁帶特性帶來的優異特性，在相同功率等級下，SiC基模塊較Si基模塊（如IGBT）體積大幅減小，因此SiC模塊對散熱的要求更高。這也衍生出了多種封裝新技術，如雙面散熱技術、氮化硅基材的AMB基板、銀燒結（銅燒結技術）、Cu clip和新型熱管理技術等。其中，AMB基板和銀燒結技術已在IGBT模塊中得到部分驗證。IGBT模塊也在不斷朝著小型化、集成化、薄型化的方向發展，出現了如PressFit技術、壓接式封裝等新技術。然而，這些新技術的發展也為相關設備帶來了挑戰。

生產完成后，為了保證功率模塊產品的可靠性，通常會進行一系列測試，功率模塊的測試包含性能與可靠性測試，其中性能測試可以分為用于導通損耗評估的靜態測試與用于開關損耗評估的動態測試。一般IGBT模塊生產線自動測試產線包含動、靜態測試主機；模塊抓取；模塊分類；絕緣耐壓測試；高溫測試；帶載測試；拱度測量；全尺寸測量等。為了確保生產節拍、測試一致性和設備可靠性，生產線的自動測試工作站需要滿足更高、更綜合的要求。

一個全面的自動化和信息化功率模塊封裝測試工廠還需要實現信息化需求，包括MES制造執行系統、WMS設備管理系統、EAP集成調度系統、APS高級排產系統、派發系統等，并與ERP企業資源規劃軟件、主數據系統、EDA電子設計自動化工具、SPC統計過程控制等系統無縫對接。

下面，本文將盤點10家國內在功率模塊封裝測試自動化產線領域具有代表性的供應商（排名不分先后），了解企業功率模塊封裝測試自動化產線具體情況。歡迎加群（文末有IGBT與SiC產線所需設備附件表格，僅供參考）

1.?長園科技 CYG

官網：https://www.cyg.com/

長園科技集團股份有限公司（長園集團，600525.SH）創立于1986年，2002年在上海證券交易所上市，是專業從事工業與電力系統智能化數字化的研發、制造與服務的科技型產業集團，產業領域涵蓋數字能源電力、新能源、電力新材料、安全科技、測試及自動化五大方向，服務于全球80個國家和地區千行百業的優質客戶，是國家電網、南方電網等世界500強企業的長期合作伙伴。

長園半導體設備（珠海）有限公司是長園集團旗下子公司，屬于智能裝備產業板塊。產品主要分為半導體封裝設備、功率器件IGBT設備、AR/VR設備、SiP封裝設備、其他自動化設備等；為半導體IC、功率器件IGBT、AR/VR、光通信、光電等產業提供標準智能制造平臺及軟、硬件解決方案。 ? ?

珠海長園提供IGBT自動化組裝線，適用于ECONO系列、HPD封裝，主要包含DBC貼裝、真空回流焊、定位框拆焊、超聲波清洗、X-Ray、外殼組裝（包括點膠，激光打標，鉚壓或鎖螺絲）常溫老化柜，鍵合串線，人工鏡檢，清潔、真空灌膠、高溫固化爐、封殼下料等工序。

2.?軒田科技SHARETEK

官網：https://www.sharetek.com.cn/

上海軒田智能科技股份有限公司成立于2007年，是軟硬件結合智能制造整體解決方案供應商，可提供“新一代”智能工廠全棧式解決方案、自主研發智能裝備矩陣（包括全自動預燒結設備、高精度高速貼片機、KGD測試分選設備、真空回流焊爐、超聲無損檢測系統、EFEM半導體設備前端模塊、挑片機、自動凸輪插針機、自動模塊貼片設備等）和自研的自主可控工業軟件產品（包括MES、EAP、WMS、IoT、大數據應用等）。

軒田科技聚焦半導體、微組裝/電裝/總裝、汽車電子/3C電子、工業軟件、倉儲物流等領域，特別是在功率半導體和微組裝/電裝/總裝行業，已為世界500強企業及其他眾多頭部企業提供數字化變革的整體解決方案。客戶主要有中車集團、比亞迪、中芯國際、中芯集成、華潤微電子、上汽英飛凌、國電南瑞、中國電科、航天科技等眾多行業標桿企業。

軒田科技為中車時代設計了全自動車規級IGBT模塊封裝測試智能工廠，實現了端到端的全自動生產能力，包括產線及單元的布局、非標及標準設備的連接、物流倉儲系統和信息化系統的規劃和落地；進一步打造了智能生產，實現產品批量化產出，實現規模化、柔性化生產，以及生產過程自動化、數字化和智能化，顯著降低出錯率，提高產品合格率，縮短生產周期，滿足客戶年產能預期。

3.?盛吉盛 SGS

官網：https://www.sgssemi.com/

盛吉盛（Semiconductor Global Solutions,SGS）成立于2018年3月，是中芯國際牽頭，聯合芯空間、芯鑫租賃等股東共同發起成立的半導體設備和關鍵零部件研發、生產和服務企業，致力于推進半導體設備和關鍵零部件國產化，已經構建形成設備研發及生產、關鍵零部件與服務以及設備升級優化等三大業務板塊。 ? ?

盛吉盛智能裝備(江蘇)有限公司專注于功率模塊封裝測試設備，目前產品包含 SiC/Si 劃片機、貼片機、SLT分選機、功率模塊自動化整線及配套自動化設備，在半導體設備及功率模塊整線解決方案領域有豐富的項目交付經驗。盛吉盛可提供IGBT灌封模塊自動封裝線，包括固定架組裝、真空灌膠/固化、貼蓋鎖螺絲等工序。

4.?科瑞爾 KERUIER

官網：http://www.czkeruier.com/

常州科瑞爾科技有限公司成立于2014年，是一家集研發、制造、銷售、服務于一體的科技創新型企業。主營業務包含IGBT和SiC模塊封裝測試設備制造及整線集成，AGV智能物料輸送系統及MES系統整合，視覺檢測設備，設備升級改造、設備定制開發等服務，面向半導體、光伏、新能源汽車、消費電子等精密制造領域，以領先技術推動行業的數字化、智能化發展。

科瑞爾始終堅持“以客戶需求為導向”的經營理念，在滿足客戶需求的同時，保持技術水平的領先性，并與多家工業半導體行業頭部企業合作，共同研發工業半導體封裝設備，先后打造了第一條國產化工業級IGBT封裝線，第一條國產化儲能級IGBT封裝線，第一條國產化車規級IGBT封裝線,，第一條國產化SiC封裝線。

目前科瑞爾已擁有5套自研核心設備，4套量測設備以及相關整線集成配套能力。經過近十年的行業深耕和積累，科瑞爾為眾多行業標桿企業打造了更先進的數字化、智能化產線，從單一的自動化設備廠商成為全產線自動化整體解決方案服務商。

7月5日，常州科瑞爾科技有限公司將贊助并出席第三屆功率半導體IGBT/SiC產業論壇，進行展臺展示，敬請期待！

5.?和利時 HOLS

官網：https://www.holsauto.com/

和利時（蘇州）自控技術有限公司（HOLS）成立于2011年，是一家專業的智能制造解決方案提供商，主要圍繞電動汽車、半導體、醫療、工業等提供自動化解決方案，目前共設立標準產品、非標及測試三個事業部，其中非標事業部主要是圍繞產品裝配擰緊、自動化上下料、激光焊接、壓裝、插針等各類產品非標產線的設計開發。 ? ?

和利時為車規級IGBT提供整套解決方案，主要圍繞：組框、鍵合、DBC分選及真空回流、真空灌膠、在線固化爐、盒蓋組裝、插針、測試及外觀檢查等。其IGBT全自動產線使用產品包括HPD、Easy、Econo各種類型模塊，工序包括：自動上料拆料-組框膠真空固化-產品冷卻-平面檢測產品綁碼-產品清潔-真空灌膠-自動盒蓋等。

2023年8月17日，和利時車規級IGBT模塊生產線順利預驗收。

6.?福和大自動化 FHD

官網：http://fuheda.com/

深圳市福和大自動化有限公司（FHD）前身是深圳市福和達自動化有限公司，是一家專門從事光電平板顯示領域自動化設備研發、設計、生產、銷售于一體的責任有限公司，已與華南理工大學、成都電子科技大學，清華大學深圳研究院合作等名校建立長期合作機制。

福和大自動化IGBT工業模塊自動組裝線，主要包含DBC貼裝、回流焊、定位框拆卸、清洗、X-Ray、工業模塊自動裝線、外殼點膠、常溫老化柜、鍵合及清潔、真空灌膠、高溫固化爐封殼下料等工序。

7.?博眾半導體 BOZHON

官網：https://www.bozemi.com/

蘇州博眾半導體有限公司成立于2022年，是一家面向全球的半導體設備研發制造商，致力于成為中國半導體行業領導者，通過微米級，亞微米級，納米級技術研發和產品創新，推動半導體先進制程發展和產業升級，提供尖端產品。憑借二十余年的技術積累，博眾半導體為客戶提供領先且穩定的先進工藝及檢測設備。

博眾半導體提供功率半導體數字工廠整線解決方案，將產線自動化、數字化相結合，使用了大量先進的信息化手段，實現在數據流在各個管理系統之間的無縫對接，完成分選、貼片、側框組裝、鍵線、灌膠固化、測試等工藝流程。

8.?沃鐳智能 WOLEI TECHNOLOGIES

官網：http://www.wolei-tech.com/

杭州沃鐳智能科技股份有限公司是國內領先的汽車電子智能測試整體解決方案供應商，致力于為中國智能電動汽車與半導體產業提供智能化、數字化的高端裝備。沃鐳智能圍繞智能網聯汽車電子電控、智能駕駛核心系統、車規級功率半導體等細分市場，以核心檢測技術構筑壁壘，融合智能產線、工業軟件系統，構建數字化智能工廠實施全鏈條、全要素體系。

沃鐳智能提供工業級IGBT封裝測試整線自動化集成，實現對功率器件Easy、Econo等產品從封裝到測試整條產線的自動化生產。整條產線根據生產工藝采用分段式布局，提高各段產線的設備使用效率；產線整體采用模塊化設計，各工位可單獨移進或移除，方便產品的工藝、節拍等的變更；產線可通過更換工裝兼容不同的產品；產線支持SECS/GEM、SMEMA通訊接口等協議。

9.?瀚川智能 HARMOTRONICS

官網：https://www.harmontronics.com/

蘇州瀚川智能科技股份有限公司（股票代碼：688022）成立于2007年，是一家專業的智能制造解決方案提供商，2019年在科創板上市。瀚川智能聚焦汽車電動化、智能化領域，為汽車、新能源等領域用戶提供自動化裝備、核心零部件和工業軟件整體解決方案及服務。

瀚川智能自2019年突破性地切入車用功率半導體IGBT模塊的自動化生產裝備領域，已成功拿下海外半導體裝備訂單。2020年7月瀚川智能在互動平臺上表示，公司目前第一條線項目進展良好，并且已經與客戶對接了第二條IGBT模塊自動化生產線的訂單。

10.?科威爾 Kewell

官網：https://www.kewell.com.cn/

科威爾技術股份有限公司（KEWELL TECHNOLOGY CO.,LTD.）（股票代碼：688551）是一家以測試電源為基礎產品，為多行業提供測試系統及智能制造設備的綜合性測試裝備公司，目前主要產品線有測試電源、氫能測試及智能制造裝備、功率半導體測試及智能制造裝備等，產品主要應用于新能源發電、電動車輛、氫能、功率半導體等工業領域。

科威爾可提供IGBT動靜態測試自動化產線方案，包括上料區、動態測試機、靜態測試機、下料區等，形成一體化的IGBT自動化動靜態測試解決方案，滿足廠家批量化生產的測試要求。MX300D、MX300S系列產品可以外置測試區與自動化產線完美融合。

附表1. IGBT整線所需設備（僅供參考）

以上資料整理于各公司官網及公開資訊，如有錯漏，請掃碼添加管理員補充指正。

原文始發于微信公眾號（艾邦半導體網）：盤點國內10家功率模塊封裝測試自動化產線供應商