7月11日，廣東中科半導體微納制造技術研究院（以下簡稱“廣東微納院”）半導體微納加工中試平臺通線暨項目簽約儀式在佛山南海舉行。
會上，廣東微納院半導體微納加工中試平臺通線，微納院二期項目正式封頂，一批半導體項目現場簽約，為南海半導體產業發展注入“芯”動能。據介紹，平臺建成后，將具備8吋硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力。
活動現場，蘇州敏芯微電子技術股份有限公司、科大訊飛股份有限公司、中國科學院長春光學精密機械與物理研究所、廣州市鴻利秉一光電科技有限公司等12家企業、科研院所簽約入駐半導體材料外延與表征中試平臺。將分別為合作企業提供提供外延定制、表征測試及全流程中試流片、技術咨詢等多種中試服務。
依托半導體中試平臺，廣東微納院于2023年啟動二期建設。二期定位為產業孵化區，建設6萬平方米專業化半導體產業載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預計2025年一季度進入試運行階段。
當前廣東微納院已構建了‘一核五園多要素’平臺格局，除了中試平臺通線及二期項目封頂外，研究院將推進三期項目規劃，持續配備更多半導體產業相關設備，引進培育一批半導體上下游產業企業，打造成半導體全鏈條產業服務平臺。
原文始發于微信公眾號（艾邦半導體網）：廣東微納院中試平臺正式通線
