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全球再生晶圓龍頭日本RS Technologies發布擴產計劃,預計2022~2024年共投入87億日元,在日本、中國山東及臺灣地區同步擴產,計劃至2024年將12寸再生晶圓月產能增加16萬片,總月產能將達到62萬片。
總投資87億日元,RS Technologies計劃擴大12寸再生晶圓產能
隨著全球對半導體需求的擴大,為滿足中歐、美國和日本因內存、CPU 和汽車的數字化而對半導體的旺盛需求,RS Technologies在日本三本木工廠和臺灣臺南工廠的12寸再生晶圓產量將增加,山東德州工廠產線將開始量產。
總投資87億日元,RS Technologies計劃擴大12寸再生晶圓產能
其中,在日本的總投資為21億日元,未來三年內將12寸再生晶圓月產能從2021年的28萬片增加至32萬片;在臺灣地區總投資30億日元,月產能將從2021年的18萬片增加到25萬片;山東德州新建12寸再生晶圓生產基地第一期投資(2021~2023年)總金額為36億日元(2021年已投入30億日元),新增12寸再生晶圓月產能5萬片。
總投資87億日元,RS Technologies計劃擴大12寸再生晶圓產能
再生晶圓是指在半導體IC制造過程中,有幾百道制程,為確保品質精良,每道制程都需要監控,這時就需要使用成本較低的測試晶圓,來確保制程參數是否正確,并保障產品的生產良率,因此,使用于制程監控(Monitor wafer)及檔片(Dummy wafer)的晶圓,回收加工再使用,可以降低測試片(Test wafer)及擋片的成本,便稱為再生晶圓。
此外,在中國,RS Technologies計劃將8寸優質硅晶圓片月產能從2020年8萬片提升至2022年13萬片;RS Technologies已建成12寸優質硅晶圓片月產1萬片的測試線,并將推進量產研發,以實現30萬片的量產目標。

原文始發于微信公眾號(艾邦半導體網):總投資87億日元,RS Technologies計劃擴大12寸再生晶圓產能

作者 li, meiyong

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