清洗是貫穿半導體產業鏈的重要工藝環節，用于去除半導體硅片制造、晶圓制造和封裝測試每個步驟中可能存在的雜質，避免雜質影響芯片良率和芯片產品性能。清洗步驟數量約占所有芯片制造工序步驟的 30%以上，是所有芯片制造工藝步驟中占比最大的工序。隨著技術節點的繼續進步，清洗工序的數量和重要性將繼續隨之提升。
清洗花籃，又名晶舟、卡匣，作為晶片清洗工藝的重要工具，在制造過程中起到承載運輸晶片的作用，其材質的選擇以及結構設計影響晶片生產的良率和效率。根據不同要求，清洗花籃一般由氟塑料（PTFE、PFA、PVDF）、聚丙烯經過數控加工或注塑成型制成。下面我們一起來了解一下。
一、半導體晶片清洗花籃
半導體槽式清洗的一般方法是：首先將晶圓放置在清洗花籃內，然后將裝有晶圓的清洗花籃投入清洗槽內，清洗槽內裝有清洗劑并具有超聲波發生裝置。
由于清洗花籃要與藥液接觸，需要考慮其耐酸堿性，因此優選化學性質穩定的材料。另外，由于花籃要與晶片相接觸，為了不損傷晶片，需要表面光滑的材料，同時，為了滿足有效的支撐和夾持，還要考慮其足夠的剛性，不易變形。
清洗花籃的各組成部分可以采用相同的材料制成，可避免花籃在使用中被酸、堿介質腐蝕，引起二次污染。根據不同要求，可由氟塑料（PTFE、PVDF、PFA）或聚丙烯(PP）材質做成。氟塑料清洗花籃可用于浸入有機或無機清洗劑中進行清洗，當清洗劑為有機清洗劑，使用溫度在80℃以下時，清洗花籃的材質可采用聚丙烯。此外，還有清洗花籃生產廠家對材料進行表面處理，使得清洗花籃能夠迅速排除水分，達到速干且節能的效果。
清洗花籃除了材質要求外，對結構的要求也很高。清洗花籃設置有洗凈孔槽，提升洗凈、瀝干和干燥效果，結構緊湊、清洗及干燥過程安穩牢靠可降低晶片碎片率，同時還要保證半導體晶片能充分接觸清洗劑。
二、清洗花籃的生產企業
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清洗花籃可以通過注塑成型或數控加工的方法制造，下面給大家介紹23家清洗花籃相關生產企業：
中國
1.北京市塑料研究所有限公司
北京市塑料研究所始建于1964年，現所屬于北京市隆達輕工控股有限責任公司。主要是從事塑料加工成型技術及其應用開發方面的研究，生產含氟塑料、通用塑料及工程塑料注塑和擠出制品。可提供 PP、PFA、PVDF材質的清洗花籃。
官網：http://www.slyjs.com.cn/
2.南京瑞尼克科技開發有限公司
南京瑞尼克科技開發有限公司是一家集生產，研發，銷售為一體的現代化企業，研發生產PFA、FEP、PTFE系列產品，包括PTFE、PFA清洗花籃等。
官網：http://www.njrnkyq.com/
3.安徽興宇宏半導體科技有限公司
興宇宏半導體科技（蘇州）有限公司成立于2017年，是一家專注于為半導體自動化制造工藝提供全方位/高精度的承載/運輸產品的制造商。可提供PFA鐵氟龍卡匣。
4.榮耀電子材料（重慶）有限公司
榮耀電子材料有限責任公司成立于2018年，是 Metaline工業有限公司旗下的高新技術企業，為半導體設備在超潔凈的制造和運輸過程中提供全方位包裝產品設計和制造服務。可提供PP、PFA、PVDF材質的晶舟。
官網：http://www.semiglory.com/
5.中勤實業股份有限公司
中勤實業股份有限公司成立于1988年，總部位于臺灣，中勤開發在無塵室制程環境中搭配自動化機臺的承載保護運輸高分子材料裝置，包括各貴重金屬材、晶圓、光罩、面板保護承載及傳輸使用等。可提供PP、特氟龍、PFA材質的清洗花籃。
官網：http://www.ckplas.com/
6.上品綜合工業股份有限公司
上品是臺灣半導體關鍵材料氟素樹脂設備及材料供應商，擁有豐富的射出成型技術，以氟素樹脂(Teflon)生產各種高性能的射出成型產品，包括PFA清洗花籃。
官網：https://www.alliedsupreme.com/
7.嵩慶欣業有限公司
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嵩慶欣業有限公司成立于1997年，總部位于臺灣，致力于鐵氟龍抽管、CNC自動化加工、噴涂、內襯、焊接等產品制造。專業定做[PTFE、PFA材質的顯影花籃、蝕刻花籃以及提手等，用于半導體中的刻蝕，蝕刻，顯影，耐酸耐堿制程中。
官網：https://www.liakoptfe.com.tw/
8.申玥科技股份有限公司
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申玥科技股份有限公司成立于2006年，是臺灣一家擁有十幾年CNC塑膠加工經驗的企業，申玥生產的鐵氟龍（PTFE）晶舟，采用特殊的功能設計，在晶圓放制于晶舟后，不會左右晃動，離開酸槽后可以將酸的殘留量降至最低。可依客戶制程需求設計各尺寸鐵氟龍晶舟載具。
官網：https://www.sy-tech.com.tw/
9.ePAK
ePAK 成立于1999 年, 制造和設計總部位于中國深圳，是一家專注于為半導體自動化制造工藝提供全方位/高精度的承載/運輸產品的制造商。產品覆蓋晶片的前端處理、后端IC的封裝/測試、終端系統部件的組裝處理。可提供清洗花籃。
10.深圳市邁捷微科技有限公司
深圳市邁捷微科技有限公司成立于2002年4月2日，是集半導體包裝材料的開發、生產、銷售一體的深圳高新技術企業，是半導體產品包裝方案系統解決的服務商。可提供鐵氟龍、PP材質的清洗花籃。
官網：http://www.majorway.com.cn/
11.深圳市科晶智達科技有限公司
深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立，創立初期主要為半導體、精密光學器件提供潔凈存儲和安全轉移所使用的包裝制品，產品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等，可提供PFA、PP材質的清洗花籃。
官網：https://www.szkejing.com/
12.無錫市瑞氟高分子材料有限公司
無錫市瑞氟高分子材料有限公司成立于2014年，是一家致力于氟塑料原材料銷售及其制品的生產和研發的企業。瑞氟可以生產 PFA 晶片花籃等。
官網：http://www.rayflon.com/
13.南京濱正紅儀器有限公司
南京濱正紅儀器有限公司成立于2013年，是專門生產、研發、銷售高科技痕量分析實驗器皿的廠家。可根據客戶的要求，定做PFA、PTFE材質的清洗花籃。
14.深圳海納新材應用技術有限公司
深圳海納新材應用技術有限公司(Hiner-pack)成立于2013年，是一家集設計、制造、銷售半導體IC封裝測試及半導體晶圓制造工藝當中自動傳送、承載、運輸產品的全方位供應商。可提供多種顏色的PP、PVDF材質晶舟。
官網：https://www.hiner-pack.com/
15.深圳市東虹鑫靜電器材有限公司
深圳市東虹鑫靜電器材有限公司專業從事半導體承載用具系列，防靜電周轉車存儲系列產品的開發、生產、銷售及服務為一體的實力生產廠家。可提供PFA材料制成清洗花籃。
官網：http://www.dohone.com/
16.上海嘉氟新材料科技有限公司
上海嘉氟新材料科技有限公司位于上海市松江區泖港鎮，專業從事氟化工等氟塑料產品的制造，根據用戶和市場的需求，研發并制造品質的PVDF制品，用于太陽能、半導體等領域。可生產PVDF硅片清洗花籃。
官網：http://www.jofur.com.cn/
17.無錫德晟自動化設備有限公司
無錫德晟自動化設備有限公司成立于2011年，主要服務于半導體電子和能源行業。可提供硅片清洗花籃。
官網：http://www.wxdsauto.com/
18.江陰市揚潤精密模具有限公司
江陰市揚潤精密模具有限公司是一家集模具開發和注塑成型一體化的高新技術企業，可提供半導體PFA清洗花籃。
官網：http://www.yangrunmould.com/
19.鎮江兆吉流體設備有限公司
鎮江兆吉流體設備為臺灣兆全科技關系企業，成立于2019年，以產銷高潔凈度電子級氣動泵為主要項目，也可以提供PTFE花籃、清洗槽等濕法設備配件。
官網：http://www.jszhaoji.cn/
國外
20.大日商事株式會社
大日商事株式會社成立于1959年12月2日，生產用于半導體工藝的塑料制品，包括前開式晶圓傳送盒FOUP、晶圓儲存盒、晶舟盒、晶舟把、光罩盒、晶片托盤用夾子等。可提供PP、PFA材質的晶舟。
官網：https://www.dainichi-shoji.co.jp/
21.日本MiraialCo.,Ltd
Miraial成立于1968年7月，基于其多年開發的高功能塑料精密成型和加工技術，主要為半導體行業開發產品，包括用于晶圓加工、運輸的載具及配件。可提供PFA、PP材質的清洗花籃。
官網：https://www.miraial.co.jp
22.美國Entegris
Entegris成立于1966年，總部位于美國馬薩諸塞州，是為半導體和其他高科技行業提供先進材料和工藝解決方案的領導企業。Entegris為整個半導體制造及供應鏈生態系統，提供最廣泛解決方案組合，可提供 PFA、聚丙烯或 STAT-PRO ? 100 材料的晶圓花籃。
官網：https://www.entegris.com/
23.韓國SANG-A FRONTEC
SANG-A FRONTEC 是以超高科技工程塑料為基礎，并有著相關產品生產需要的多樣的獨創加工技術。SANG-A FRONTEC 于1992年開始生產PFA花籃。
官網：http://www.sftc.co.kr/
原文始發于微信公眾號（艾邦半導體網）：半導體塑料清洗花籃企業20強
